ICS31030

CCSL.90

團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)

T/CEMIA036—2023

半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液

Highalkaliconcentrationnegativephotoresistdeveloperforsemiconductordisplay

2023-11-06發(fā)布2023-12-30實施

中國電子材料行業(yè)協(xié)會發(fā)布

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版

T/CEMIA036—2023

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由中國電子材料行業(yè)協(xié)會提出并歸口

。

本文件起草單位福建省佑達(dá)環(huán)保材料有限公司福州大學(xué)福建華佳彩有限公司

:、、。

本文件主要起草人劉小勇侯琳熙姚慧君田博肖龍強(qiáng)黃曉莉黃子勗房龍翔陳澤生肖小江

:、、、、、、、、、、

邱小真葉鑫煌李叢香吳玲玲

、、、。

Ⅰ

T/CEMIA036—2023

半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液

1范圍

本文件規(guī)定了半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液的縮略語技術(shù)要求檢驗方法檢驗規(guī)則標(biāo)志及

、、、、

包裝運(yùn)輸貯存和安全事項

、、。

本文件適用于由氫氧化鉀表面活性劑和水組成其中氫氧化鉀的質(zhì)量百分比大于的半導(dǎo)體顯

、,8%

示用高堿濃度負(fù)膠顯影液此半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液主要用于半導(dǎo)體制程中負(fù)性光刻膠的

。

顯影及薄膜晶體管液晶顯示器或有機(jī)發(fā)光二極管顯示器彩膜工藝光刻膠的

,(TFT-LCD)(OLED)

顯影

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險貨物包裝標(biāo)志

GB190

化學(xué)試劑標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的制備

GB/T601

化學(xué)試劑雜質(zhì)測定用標(biāo)準(zhǔn)溶液的制備

GB/T602

化學(xué)試劑試驗方法中所用制劑及制品的制備

GB/T603

化學(xué)試劑密度測定通用方法

GB/T611—2021

液體化學(xué)產(chǎn)品顏色測定法單位鉑鈷色號

GB/T3143(Hazen———-)

環(huán)氧乙烷型及環(huán)氧乙烷環(huán)氧丙烷嵌段聚合型非離子表面活性劑濁點(diǎn)的測定

GB/T5559-

化工產(chǎn)品采樣總則

GB/T6678

液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6680

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

化學(xué)試劑值測定通則

GB/T9724pH

化學(xué)試劑電位滴定法通則

GB/T9725

電子級水

GB/T11446.1

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

危險化學(xué)品庫儲存通則

GB15603

化學(xué)試劑離子色譜法測定通則

GB/T34672

潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

GB50073—2013

電子工業(yè)用顯影液中碳酸根離子的測定自動電位滴定法

SJ/T11635—2016

電子化學(xué)品中顆粒的測試方法

SJ/T11638