痕量水分儀校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationofTra北京市市場(chǎng)監(jiān)督管理局發(fā)布JJF(京)156-2024痕量水分儀校準(zhǔn)規(guī)范痕量水分儀校準(zhǔn)規(guī)范JJF(京)156-2024IJJF(京)156-2024 （I） （II） （1） （1） （1） （2） （2） （3） （3） （3） （4） （4） （4） （4） （7） （8） （9） （10） （11）JJF(京)156-20241JJF(京)156-2024痕量水分儀校準(zhǔn)規(guī)范本規(guī)范適用于光腔衰蕩光譜法(CRDS)和可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜法3.1光腔衰蕩光譜法CavityRing光強(qiáng)度隨時(shí)間呈N次單指數(shù)衰減。光腔衰蕩光譜法（Cavityring-down3.2可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜法TunableDiodeLaserAbsorption可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜法（TunableDiodeLaserAbsorption2Spectroscopy，TDLAS）主要是利用可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器的窄線寬和波長(zhǎng)隨注入3.3低霜點(diǎn)濕度發(fā)生器Low-fros探測(cè)器待測(cè)氣體激光器測(cè)量信號(hào)探測(cè)器待測(cè)氣體激光器測(cè)量信號(hào)溫度壓力傳感器激光調(diào)諧鎖相放大模塊參考信號(hào)激光調(diào)諧鎖相放大模塊參考信號(hào)數(shù)據(jù)建模處理3JJF(京)156-2024表1痕量水分儀計(jì)量特性露點(diǎn)溫度rd-100℃≤rd＜-70℃-70℃≤rd＜-50℃-50℃≤rd＜-20℃-20℃≤rd≤20℃體積比ppmv0.01≤ppmv＜2.62.6≤ppmv＜39.139.1≤ppmv＜1024.61024.6≤ppmv<23701.8露點(diǎn)最大允許誤差±1.2℃±0.9℃±0.6℃±0.5℃體積比最大允許誤差±0.5±4.6±60.7±761.91.不同的低霜點(diǎn)濕度發(fā)生器，樣氣流量范圍可能不同；2.以上指標(biāo)不用于合格性判別；3.體積比單位ul/L。環(huán)境溫度：10℃~30℃;當(dāng)校準(zhǔn)露點(diǎn)溫度范圍在-70℃~20℃之間時(shí)，氣體管路系統(tǒng)的連接管可選擇4如果測(cè)量露點(diǎn)范圍-100℃≤rd＜-90℃,采用標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器作為標(biāo)準(zhǔn)器；如果測(cè)量露點(diǎn)范圍-90℃≤rd＜20℃采用精密露點(diǎn)儀作為標(biāo)準(zhǔn)器。表2標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器技術(shù)要求露點(diǎn)溫度rd-100℃≤rd＜-90℃最大允許誤差±0.4℃表3精密露點(diǎn)儀技術(shù)要求露點(diǎn)溫度rd-90℃≤rd＜-70℃-70℃≤rd＜-50℃-50℃≤rd＜-20℃-20℃≤rd≤20℃最大允許誤差±0.4℃±0.3℃±0.2℃±0.15℃5JJF(京)156-2024標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器痕量水分儀標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器痕量水分儀氣源系統(tǒng)圖2痕量水分儀校準(zhǔn)的連接示意圖應(yīng)越長(zhǎng)。建議吹掃時(shí)間見(jiàn)表4；表4露點(diǎn)溫度與吹掃時(shí)間對(duì)應(yīng)表露點(diǎn)溫度吹掃時(shí)間-100℃≤rd＜-70℃-70℃≤rd＜-50℃-50℃≤rd＜-20℃-20℃≤rd≤20℃記錄痕量水分儀的露點(diǎn)溫度值，每隔2min按同樣順序記錄一組數(shù)據(jù)，累計(jì)記錄6（1）采用精密露點(diǎn)儀作為標(biāo)準(zhǔn)器精密露點(diǎn)儀氣源系統(tǒng)低霜點(diǎn)濕度發(fā)生器痕量水分儀圖3痕量水分儀校準(zhǔn)的連接示意圖越長(zhǎng)。建議吹掃時(shí)間見(jiàn)表4；7JJF(京)156-2024（2））；），g）進(jìn)行校準(zhǔn)的日期，如果與校準(zhǔn)結(jié)果的有效性和應(yīng)用h）如果與校準(zhǔn)結(jié)果的有效性應(yīng)用有關(guān)時(shí)，應(yīng)對(duì)被校樣品的抽樣程序進(jìn)行說(shuō)j）本次校準(zhǔn)所用測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的溯源性及有效性說(shuō)明；k）校準(zhǔn)環(huán)境的描述；89JJF(京)156-2024委托單位被校設(shè)備校準(zhǔn)地點(diǎn)環(huán)境條件校準(zhǔn)時(shí)間校準(zhǔn)人員核驗(yàn)人員校準(zhǔn)依據(jù)校準(zhǔn)儀器校準(zhǔn)項(xiàng)目□外觀和工作正常性檢查□濕度示值誤差工作正常性檢查：□正常□異常樣氣設(shè)定流量：L/min露點(diǎn)溫度校準(zhǔn)點(diǎn)/℃序號(hào)標(biāo)準(zhǔn)器露點(diǎn)溫度值/℃痕量水分儀露點(diǎn)溫度示值/℃12346平均值示值誤差工作正常性檢查：□正?！醍惓Ａ髁吭O(shè)定值：L/min露點(diǎn)溫度校準(zhǔn)點(diǎn)/℃標(biāo)準(zhǔn)器露點(diǎn)溫度/℃痕量水分儀露點(diǎn)溫度/℃痕量水分儀露點(diǎn)溫度示值誤差/℃擴(kuò)展不確定度JJF(京)156-2024溫度10℃~30℃,相對(duì)濕度≤85%T為均勻分布,-5,則：u1=0.005℃/=0.003℃。C.4.1.2被校準(zhǔn)痕量水分儀短期重復(fù)性引入的表C.120℃重復(fù)性測(cè)量數(shù)據(jù)序號(hào)123456數(shù)據(jù)20.01℃20.03℃20.03℃20.04℃20.03℃20.02℃表C.2短期重復(fù)性引入的不確定度露點(diǎn)溫度/℃-90-70-50-2020u2/℃0.0070.0060.0050.0040.004C.4.2.1低霜點(diǎn)濕度發(fā)生器波動(dòng)引入的于±0.10℃,每記錄一組數(shù)據(jù)的間隔很短，按均勻分布，則其標(biāo)準(zhǔn)不確定度估計(jì)周?chē)h(huán)境中的水汽主要通過(guò)管路、零件、閥等滲透進(jìn)入發(fā)生器的輸出管響較大，當(dāng)露點(diǎn)溫度低于-60℃時(shí)，影響更明顯。不同露點(diǎn)溫度時(shí)管路密封和滲JJF(京)156-2024表C.3管路密封和滲透引入的不確定度露點(diǎn)溫度/℃200.100.050.020.0030C.4.3.2精密露點(diǎn)儀代入修正值引入的不確定度u6C.4上一級(jí)濕度標(biāo)準(zhǔn)給出的精密露點(diǎn)儀修正值的擴(kuò)展不確定度露點(diǎn)溫度/℃20U(k=2)/℃0.300.300.300.150.15C.5精密露點(diǎn)儀代入修正值引入的不確定度露點(diǎn)溫度/℃50.080.08表C.6不確定度分量匯總表不確定度分量不確定度來(lái)源標(biāo)準(zhǔn)不確定度靈敏系數(shù)被校準(zhǔn)低霜點(diǎn)濕度發(fā)生器u1分辨力0.003℃1u2重復(fù)性見(jiàn)表C.21波動(dòng)度0.06℃1u4管路密封和滲透見(jiàn)表C.31標(biāo)準(zhǔn)器精密露點(diǎn)儀分辨力0.003℃1u6修正值見(jiàn)表C.51備注u1和u2取大一級(jí)精密露點(diǎn)儀校準(zhǔn)痕量水分儀在不同露點(diǎn)溫度的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度按式表C.7合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度露點(diǎn)溫度-90℃≤Td＜-70℃-70℃≤Td＜-50℃-50℃≤Td＜-20