建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表 《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》編制說明《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》由具有從事環(huán)境影響評(píng)價(jià)工作資質(zhì)的1.項(xiàng)目名稱──指項(xiàng)目立項(xiàng)批復(fù)時(shí)的名稱，應(yīng)不超過30個(gè)字（兩個(gè)學(xué)校、醫(yī)院、保護(hù)文物、風(fēng)景名勝區(qū)、水源地和生態(tài)敏感點(diǎn)等，應(yīng)盡可結(jié)論，確定污染防治措施的有效性，說明本項(xiàng)目對(duì)環(huán)境造成的影響，給浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表 12、項(xiàng)目所在地自然環(huán)境社會(huì)環(huán)境簡(jiǎn)況 47 56 60 666、項(xiàng)目主要污染物產(chǎn)生及預(yù)計(jì)排放情況 88 898、建設(shè)項(xiàng)目擬采取的防治措施及預(yù)期治理效果 1079、項(xiàng)目審批原則符合性分析 108 113浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表1、建設(shè)項(xiàng)目基本情況/2018-330702-39-03-07/保投資號(hào)，廠區(qū)占地面積40180平方米，建筑面積19542.7平方米。公司主要從事不同尺寸的LED圖形化藍(lán)寶石襯底片和外延片的研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售等，是一家過環(huán)境保護(hù)設(shè)施竣工驗(yàn)收（金環(huán)開驗(yàn)[2015]9號(hào)）；企業(yè)于2017年《年產(chǎn)192萬1浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表為了進(jìn)一步適應(yīng)市場(chǎng)需求，企業(yè)擬總投資29541萬元，在企業(yè)原有廠區(qū)內(nèi)的1#廠房一層建設(shè)實(shí)施。項(xiàng)目總占地面積40180平方米，總建筑面積19542.7平方米。主要采用多線切割藍(lán)寶石工藝、CMP化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)，新增多線切割機(jī)、依據(jù)《中華人民共和國(guó)環(huán)境影響評(píng)價(jià)法》（2016年修正）、《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例》（2017年修訂）的有關(guān)規(guī)定，該項(xiàng)目必須進(jìn)行環(huán)境影響評(píng)價(jià)。對(duì)照《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)分類管理名錄（2018）》，項(xiàng)目應(yīng)屬于“二十八、計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)，83電子元件及電子專用材料制造：電子專用材2浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表表1.2-1本技改項(xiàng)目完成后企業(yè)產(chǎn)品方案一覽表序號(hào)產(chǎn)品名稱年產(chǎn)量單位規(guī)格審批情況1藍(lán)寶石襯底片萬片2英寸金環(huán)建開[2017]75號(hào)藍(lán)寶石襯底片36萬片4英寸2藍(lán)寶石襯底片400萬片4英寸本次技改項(xiàng)目新增合計(jì)藍(lán)寶石襯底片592萬片//Item項(xiàng)目Unit單位Specification規(guī)格1.SurfaceOrientation表面晶向C-plane(0001)1-1towardmdegree0.20±0.051-2towardadegree0.00±0.102.OrientationFlat定位邊A-plane(11-20)2-1PrimaryFlatdegree0.00±0.202-2PrimaryFlatLengthmm30.0±0.53.Diameter直徑mm100.0±0.14.Thickness厚度650±105.TTV總厚度偏差6.BOW碗曲度7.Flatness(Warp)翹曲度3浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表8.LTV(10.0*10.0mm)區(qū)域厚度偏差9.FrontsideRoughness正面粗糙度nm10.BacksideRoughness背面粗糙度0.8≦Ra≦1.211.Waferedge倒角Curve:R-Type,12.Lasermark標(biāo)記N/A13.Chips崩邊Peripheral≦1.5mm;Width≦0.5mm14.Cleanliness清潔度“up0.3um”<250pcsand“up0.5um”≦50，no5umparticle,nostains,noscratch,15.Package包裝Vacuumpackedcassetteof25pcsincleanroom，EPI-Ready16.OthersAccordingtocustomerrequirements4浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表序號(hào)原輔材料名稱單位年耗量包裝形式工序24吋晶棒毫米800000（22608kg）3切削液升5000（5000kg）200L/桶切割4碳化硼公斤6500025kg/袋研磨5清洗劑BL1500升15000（15000kg）20L/桶清洗6液體蠟升4000（2800kg）2L/桶貼蠟7鉆石液升870（783kg）500mL/瓶銅拋8拋光液升820000（1000000kg）20L/桶化拋9氫氧化鉀升37000（54000kg）5L/塑料桶清洗雙氧水升2320（2600kg）4L/塑料桶清洗硫酸升4600（4600kg）4L/塑料桶清洗磷酸升3800（4600kg）4L/塑料桶清洗鉆石切割線米18000000（1900kg）研磨砂公斤80000拋光布?jí)|張600（300kg）無蠟吸附墊張7200（720kg）原輔料名稱組分切削液油性劑、極壓劑、乙醇胺去離子水碳化硼碳化硼>95%清洗劑BL1500氫氧化鉀0.5~1.0%，水99.0~99.5%液體蠟松香20~30%，正丙醇50~60%鉆石液金剛石粉0.2~0.8%，水性溶劑98.2%~99.3%、添加劑0.5~1.0%拋光液二氧化硅≤41%，水≥59%氫氧化鉀濃度45%雙氧水濃度30%硫酸濃度97%磷酸濃度85%5浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表本項(xiàng)目原輔材料理化性質(zhì)分析序號(hào)原料名稱性質(zhì)1硫酸化學(xué)式H2SO4，分子量98.078理化性質(zhì)：硫酸熔點(diǎn)10.371℃,沸點(diǎn)33.7℃,是一種無色無味油狀液體，是一種高沸點(diǎn)難揮發(fā)的強(qiáng)酸，易溶于水，能以任意比與水混溶。通常使用的是它的各種不同濃度的水溶液，用塔式法和接觸法制取。前者所得為粗制稀硫酸，質(zhì)量分?jǐn)?shù)一般在75%左右；后者可得質(zhì)量分?jǐn)?shù)98.3%的純濃硫酸，沸點(diǎn)338℃,相對(duì)密度1.84。用途：硫酸是基本化學(xué)工業(yè)中重要產(chǎn)品之一，不僅作為許多化工產(chǎn)品的原料，而且還廣泛地應(yīng)用于其他的國(guó)民經(jīng)濟(jì)部門。LC50510mg/m3，2小時(shí)（大鼠吸入320mg/m3，2小時(shí)（小鼠吸入2磷酸分子式H3PO4；分子量97.9724理化性質(zhì)：熔點(diǎn)42℃,沸點(diǎn)158℃（分解，磷酸受熱逐漸脫水，因此沒有自身的沸點(diǎn)），市售磷酸是含85%H3PO4的粘稠狀濃溶液。從濃溶液中結(jié)晶，則形成半水合物2H3PO4·H2O（熔點(diǎn)302.3K）。磷酸是三元中強(qiáng)酸，分三步電離，不易揮發(fā)，不易分解，幾乎沒有氧化性。具有酸的通性。用途：磷酸是生產(chǎn)重要的磷肥（過磷酸鈣、磷酸二氫鉀等）的原料，也是生產(chǎn)飼料營(yíng)養(yǎng)劑（磷酸二氫鈣）的原料。磷酸是一種重要的化工原料，主要作用如下：處理金屬表面，在金屬表面生成難溶的磷酸鹽薄膜，以保護(hù)金屬免受腐蝕；和硝酸混合作為化學(xué)拋光劑，用以提高金屬表面的光潔度；生產(chǎn)洗滌用品、殺蟲劑的原料磷酸酯；生產(chǎn)含磷阻燃劑的原料。磷酸是食品添加劑之一，在食品中作為酸味劑、酵母營(yíng)養(yǎng)劑，可口可樂中就含有磷酸；磷酸鹽也是重要的食品添加劑，可作為營(yíng)養(yǎng)增強(qiáng)劑。磷酸可用于制取含磷藥物，例如甘油磷酸鈉等。毒性數(shù)據(jù)：磷酸用在食品添加劑，素來有骨質(zhì)疏松癥的疑慮。研究指出，飲用碳酸飲料者沒有比其他人攝取更多的磷，但身體的鈣磷比卻顯著的降低。另一項(xiàng)臨床研究指出，磷的攝取會(huì)降低骨密度。但此實(shí)驗(yàn)以磷的總攝取量為主，并未明確證明使骨密度降低的主因是磷酸。對(duì)人無中毒報(bào)告；濃溶液對(duì)皮膚有腐蝕作用；LD501530mg/kg（大鼠，經(jīng)口），2740mg/kg（兔經(jīng)皮）。6浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表3雙氧水化學(xué)式H2O2，分子量34.01理化性質(zhì)：水溶液為無色透明液體，有微弱的特殊氣味。純過氧化氫是淡藍(lán)色的油狀液體。熔點(diǎn)-0.89℃（無水），沸點(diǎn)158℃（無水），折射率1.3350（25℃),相對(duì)密度（水=1）1.46（無水飽和蒸氣壓(kPa)0.13(15.3℃)。能與水、乙醇、乙醚以任何比例混合，不溶于苯、石油醚。具助燃、強(qiáng)刺激性，與重金屬等混合易爆炸。用途：分醫(yī)用、工業(yè)用和民用三種。日常消毒的是醫(yī)用雙氧水，可殺滅腸道致病菌、化膿性球菌，致病酵母菌，一般用于物體表面消毒?；瘜W(xué)工業(yè)用作生產(chǎn)過硼酸鈉、過碳酸鈉、過氧乙酸、亞氯酸鈉、過氧化硫脲等的原料，酒石酸、維生素等的氧化劑。醫(yī)藥工業(yè)用作殺菌劑、消毒劑，以及生產(chǎn)福美雙殺蟲劑和40l抗菌劑的氧化劑。印染工業(yè)用作棉織物的漂白劑，還原染料染色后的發(fā)色劑。民用主要是處理廚房下水道的異味，到藥店購買雙氧水加水加洗衣粉倒進(jìn)下水道可去污，消毒，殺菌。毒理性質(zhì)：毒性LD504060mg/kg（大鼠經(jīng)皮）；LC502000mg/m3，4小時(shí)（大鼠吸入）。4氫氧化鉀化學(xué)式KOH，分子量56.105641320~1324℃,相對(duì)密度2.044g/cm，閃點(diǎn)52°F，折射率n20/D1.421，蒸汽壓1mmHg(719℃)。具強(qiáng)堿性及腐蝕性。極易吸收空氣中水分而潮解，吸收二氧化碳而成碳酸鉀。溶于約0.6份熱水、0.9份冷水、3份乙醇、2.5份甘油。當(dāng)溶解于水、醇或用酸處理時(shí)產(chǎn)生大量熱量。0.1mol/L溶液的pH為13.5。溶于乙醇，微溶于醚。有極強(qiáng)的堿性和腐蝕性，其性質(zhì)與燒堿相似。用途：無機(jī)工業(yè)用作生產(chǎn)鉀鹽的原料；日化工業(yè)用作制造鉀肥皂、洗污肥皂、洗頭軟皂等的原料；制藥工業(yè)用于制造黃體酮、香蘭素等原料；染料工業(yè)用于制造三聚氰胺染料；電池工業(yè)用于制造堿性蓄電池；用作干燥劑、吸收劑，用于制鉀肥皂、草酸及各種鉀鹽，還用于電鍍、雕刻、石印術(shù)等；在染料工業(yè)中，用于生產(chǎn)還原染料，如還原藍(lán)RSN等；在電化學(xué)工業(yè)中，用于電鍍、雕刻等；在紡織工業(yè)中，用于印染、漂白和絲光，并大量用作制造人造纖維、聚酯纖維的主要原料；此外，還用于冶金加熱劑和皮革脫脂等方面。毒理性質(zhì)：中等毒，半數(shù)致死量（大鼠，經(jīng)口）1230mg/kg；刺激性：家兔經(jīng)皮50mg（24h），重度刺激；家兔經(jīng)眼1mg（24h），中度刺激。7浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表5正丙醇化學(xué)式C3H7OH，分子量60.10理化性質(zhì)：有乙醇?xì)馕兜臒o色透明液體，溶于水、乙醇、乙醚。熔汽密度（空氣=1）2.07，飽和蒸氣壓1.33kPa(14.7℃)，燃燒熱2017.9kJ/mol，臨界溫度263.6℃,臨界壓力5.17MPa。用途：主要用來做燃料油的殺菌劑、農(nóng)藥及醫(yī)藥原料、香料原料，紅霉素，溴丙烷，尼泊金丙脂，油漆，油墨，乙酸正丙脂等。毒理性質(zhì)：急性毒性——LD501870mg/kg（大鼠經(jīng)口5040mg/kg（兔經(jīng)皮）；LC5048000mg/m3（小鼠吸入）。6乙醇胺化學(xué)式C2H7NO，分子量61.0837理化性質(zhì)：常溫下為無色粘稠液體帶氨味，溶于水，溶液呈強(qiáng)堿性，能與水、乙醇和丙酮等混溶，微溶于乙醚和四氯化碳。熔點(diǎn)10.5℃,沸點(diǎn)170℃,凝固點(diǎn)-5℃,折射率1.4540，相對(duì)密度1.0180(20/4℃)，動(dòng)力粘度(20℃)24.14mPa·s，閃點(diǎn)93.3℃。用途：用于表面活性劑、石油添加劑、防腐劑、油墨制造、有機(jī)合成原料；也可用于金屬清洗劑、防銹劑的原料；食品工業(yè)用加工助劑；用于制造非離子型洗滌劑、乳化劑、汽車防凍液；用于生產(chǎn)乙烯胺系列產(chǎn)品的原料。毒理性質(zhì)：急性毒性——LD502050mg/kg（大鼠經(jīng)口1000mg/kg（兔經(jīng)皮）；LC502120mg/m3、4小時(shí)（大鼠吸入）；亞急性和慢性毒性——大鼠吸入100~200mg/m3×6小時(shí)/日×5日/周，中樞神經(jīng)系統(tǒng)抑制，條件反射改變，兔吸入24mg/m3×35日，中樞神經(jīng)系統(tǒng)受到一定抑制，皮膚出現(xiàn)刺激現(xiàn)象。表1.2-6本技改項(xiàng)目完成后企業(yè)主要生產(chǎn)設(shè)備序號(hào)名稱數(shù)量單位備注1晶向定向儀DX-75臺(tái)年產(chǎn)192萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目生產(chǎn)設(shè)備2多線切割機(jī)MWS-612DD5臺(tái)3雙面研磨機(jī)16B-5L7臺(tái)4超聲波清洗機(jī)LSA-121臺(tái)5倒角機(jī)W-GM-42503臺(tái)6酸堿清洗機(jī)CX146臺(tái)7JGMT-30、TGMT-308臺(tái)8晶片上蠟機(jī)CZTL-01A6臺(tái)9單面銅拋機(jī)NSD-4050/40364臺(tái)單面拋光機(jī)NSC-4050/4036臺(tái)8浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表甩干機(jī)CT-6053臺(tái)自動(dòng)Candela檢查機(jī)CS20R1臺(tái)FT17平整度檢查機(jī)nidek2臺(tái)晶向定向儀丹東新東方8臺(tái)本次技改項(xiàng)目新增設(shè)備多線切割機(jī)MB288S臺(tái)超聲波清洗機(jī)5臺(tái)雙面研磨機(jī)22B臺(tái)超聲波清洗機(jī)6臺(tái)倒角機(jī)東精精密WGM-4250臺(tái)20酸洗機(jī)辰軒臺(tái)21旋干機(jī)立式甩干機(jī)臺(tái)22高溫退火爐/31臺(tái)23超聲波清洗機(jī)無錫雷士8臺(tái)24甩干機(jī)臥式甩干機(jī)4臺(tái)25自動(dòng)分選機(jī)BOW分選機(jī)8臺(tái)26超聲波清洗機(jī)辰軒6臺(tái)27甩干機(jī)5臺(tái)28自動(dòng)貼蠟機(jī)辰軒（自動(dòng)）485/360臺(tái)29銅拋機(jī)50G22臺(tái)30自動(dòng)去蠟清洗機(jī)/5臺(tái)31化拋機(jī)NTS-50G22臺(tái)32自動(dòng)清洗機(jī)/6臺(tái)33甩干機(jī)4臺(tái)34超聲波清洗機(jī)/5臺(tái)35甩干機(jī)6臺(tái)36自動(dòng)晶片刷洗機(jī)/29臺(tái)銅拋2899h/a、化拋6060h/a、中間清洗4630h/a、拋光液清洗3556h/a、酸堿清洗9浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表4寸片產(chǎn)品4561716571浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表序號(hào)備注主體工程1切割間主要安裝8臺(tái)晶向定向儀、18臺(tái)多線切割機(jī)及清洗機(jī)。依托現(xiàn)有備新增。2倒角間主要安裝14臺(tái)倒角機(jī)。3研磨間主要安裝15臺(tái)雙面研磨機(jī)及清洗機(jī)。4退火間主要安裝31臺(tái)退火爐及酸洗機(jī)。5貼蠟間主要安裝12臺(tái)晶片上蠟機(jī)及清洗機(jī)。6銅拋間主要安裝22臺(tái)單面銅拋機(jī)及清洗機(jī)。7化拋間主要安裝22臺(tái)單面拋光機(jī)及清洗機(jī)。8化學(xué)品試劑間主要存放各類化學(xué)試劑。公用工程及輔助工程7給排水系統(tǒng)生產(chǎn)用水和生活用水全部來自市政自來水網(wǎng)；空調(diào)循環(huán)冷卻水由閉式冷卻塔供給，可滿足要求使用。設(shè)有1臺(tái)閉式冷卻塔，配2臺(tái)280m3/h冷卻循環(huán)泵，一開一備。配一套10t/h的純水設(shè)備，純水與濃水產(chǎn)生比例為3:1。排水采用雨污分流制。雨水排入市政雨水管網(wǎng)，進(jìn)入金華江；生產(chǎn)廢水經(jīng)有效收集后，進(jìn)入公司廢水處理站處理達(dá)標(biāo)后，納入金華市秋濱污水處理廠進(jìn)一步處理后排放。依托現(xiàn)有8配電系統(tǒng)本項(xiàng)目供電依托廠區(qū)現(xiàn)有供電系統(tǒng)。本項(xiàng)目配套變壓器1250KVA，可以滿足生產(chǎn)需求。9空調(diào)系統(tǒng)項(xiàng)目配套建設(shè)中央空調(diào)系統(tǒng)，為各生產(chǎn)車間提供恒溫保證。中央空調(diào)系統(tǒng)配套水冷螺桿冷水機(jī)組（RSW-300-2）和力聚預(yù)混熱水機(jī)組（YHZRQ-45NW）。夏天溫度較高，以冷水機(jī)組工作為主，冬天溫度較低，以熱水機(jī)組工作為主；熱水機(jī)組使用天然氣爐加熱。供汽項(xiàng)目天然氣依托工業(yè)園區(qū)天然氣管道提供。預(yù)計(jì)年用天燃?xì)饬?萬m3。依托現(xiàn)有環(huán)保工程項(xiàng)目酸霧廢氣收集后依托廠區(qū)原有的堿噴淋塔處理，尾氣引至25m高排氣筒排放；車間潔凈系統(tǒng)廢氣通過排風(fēng)機(jī)引至15m高排氣筒排放；企業(yè)對(duì)廠區(qū)內(nèi)現(xiàn)有的60m3/d的污水處理站進(jìn)行升級(jí)改造，采酸霧噴淋廢倉庫均1浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表用中和沉淀-水解酸化-氧化-MBR處理工藝，經(jīng)改造完成后可達(dá)到150m3/d的處理能力，可滿足本項(xiàng)目需求；員工生活污水經(jīng)沼氣凈化池處理后外排至市政污水管網(wǎng)；危險(xiǎn)廢物收集后，在廠內(nèi)設(shè)臨時(shí)貯存設(shè)施，按照相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì)；生活垃圾收集后統(tǒng)一由環(huán)衛(wèi)部門進(jìn)行處置。依托現(xiàn)有。污水處理站經(jīng)改造后滿足本項(xiàng)目需求。服務(wù)工程本項(xiàng)目不包括食堂、宿舍等服務(wù)工程的內(nèi)容/應(yīng)急系統(tǒng)企業(yè)已建有一座容積約220m3的事故應(yīng)急池，可滿足本項(xiàng)目需依托現(xiàn)有本項(xiàng)目位于浙江省金華市婺城區(qū)南二環(huán)西路2688號(hào)，項(xiàng)目所在地地理位置圖表1.2-7本項(xiàng)目所在地四周情況介紹序號(hào)廠界方向距離1東側(cè)緊鄰浙江東晶電子股份有限公司2南側(cè)隔二環(huán)南路為農(nóng)田3西側(cè)緊鄰浙江巴斯曼機(jī)械有限公司4北側(cè)緊鄰浙江派尼爾科技股份有限公司生產(chǎn)廠房（1#標(biāo)準(zhǔn)廠房、3#標(biāo)準(zhǔn)廠房），廠區(qū)出入口位于南側(cè)緊鄰二環(huán)南路。廠區(qū)由南向北依次為閑置空地、1#標(biāo)準(zhǔn)廠房、3#標(biāo)準(zhǔn)廠房，廠區(qū)西側(cè)設(shè)有污水處理站和根據(jù)企業(yè)規(guī)劃，公司年產(chǎn)60萬片PSS高光效圖形藍(lán)寶石襯底項(xiàng)目和年產(chǎn)96萬片PSS基AIN薄膜藍(lán)寶石襯底技改項(xiàng)目生產(chǎn)線擬不再實(shí)施，企業(yè)廠區(qū)內(nèi)（1#標(biāo)2浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表本次技改項(xiàng)目擬需員工約150人，企業(yè)原有勞動(dòng)號(hào)，廠區(qū)占地面積40180平方米，建筑面積19542.7平方米。公司主要從事不同尺寸的LED圖形化藍(lán)寶石襯底片和外延片的研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售等，是一家）；3浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表序號(hào)項(xiàng)目名稱類別審批文號(hào)審批時(shí)間驗(yàn)收情況實(shí)施情況1年產(chǎn)60萬片PSS高光效圖形藍(lán)寶石襯底項(xiàng)目報(bào)告書金環(huán)建2014.7.24金環(huán)開驗(yàn)[2015]9號(hào)擬整體搬遷2年產(chǎn)192萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目報(bào)告書金環(huán)建開[2017]75號(hào)2018.6.7已通過專家組環(huán)?！叭瑫r(shí)”竣工驗(yàn)收3年產(chǎn)96萬片PSS基AIN薄膜藍(lán)寶石襯底技改項(xiàng)目報(bào)告書金環(huán)建開[2017]76號(hào)2018.6.7已通過專家組環(huán)?！叭瑫r(shí)”竣工驗(yàn)收擬整體搬遷企業(yè)原有項(xiàng)目位于金華經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)二環(huán)南路2688號(hào)，在浙江博藍(lán)特半導(dǎo)4浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表序號(hào)原輔材料名稱單位年耗量包裝形式備注年產(chǎn)60萬片PSS高光效圖形藍(lán)寶石襯底項(xiàng)目原輔材料消耗匯總1藍(lán)寶石片600000（2.1t）/3.5g/片，主要成分為Al2O32硫酸升26500（48.76t）4L/塑料桶98%3雙氧水升8750（9.888t）4L/塑料桶30%4光刻膠升1000(1.018t)4L/塑料桶AZG×R601，主要成分包括線形酚醛樹脂、感光劑（5-硝基苊）、溶劑（環(huán)己酮）5去邊劑升1540（1.355t）4L/塑料桶AZ7030，主要成分為PGME/PGMEA混合物（即為丙二醇甲醚和丙二醇甲醚醋酸酯的混合物）6顯影液升7500（7.508t）20L/塑料桶AZ300MZF，主要成分為TMAH水溶液（四甲基氫氧化銨水溶液2.38%）7三氯化硼公斤60050kg/鋼瓶/8氦氣公斤30050kg/鋼瓶/9水噸35260//電萬度//年產(chǎn)192萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目原輔材料消耗匯總12吋晶棒毫米1250000（8831.25kg）//24吋晶棒毫米400000（11304kg）//3切削液升2500（2500kg）200L/桶切割4碳化硼公斤3287025kg/袋研磨5清洗劑BL1500升7560（7560kg）20L/桶清洗6液體蠟升2L/桶貼蠟7鉆石液升4900（4410kg）500mL/瓶銅拋8拋光液升205200（256500kg）20L/桶化拋9氫氧化鉀升18846（27436.01kg）5L/塑料桶清洗雙氧水升1160（1287kg）4L/塑料桶清洗硫酸升2320（4245.6kg）4L/塑料桶清洗磷酸升1900（3211kg）4L/塑料桶清洗鉆石切割線米9500000（950kg）//5浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表研磨砂公斤40000//拋光布?jí)|張300（150kg）//無蠟吸附墊張3600（360kg）//水噸22400//電萬度//年產(chǎn)96萬片PSS基AIN薄膜藍(lán)寶石襯底技改項(xiàng)目原輔材料消耗匯總14英寸藍(lán)寶石平片萬片100（18369kg）/全工段2光刻膠加侖600（2443kg）4L/塑料桶勻膠3顯影液升27986（27986kg）20L/塑料桶顯影4去邊液升570（2006kg）4L/塑料桶勻膠5硫酸升24960（45676kg）4L/塑料桶清洗6雙氧水升21120（23443kg）4L/塑料桶清洗7丙酮升1020（816kg）/8異丙醇升465（366kg）/9BCl3氣體公斤510050kg/鋼瓶干法刻蝕He氣體公斤51050kg/鋼瓶干法刻蝕ICP鋁盤個(gè)910/干法刻蝕ICP密封圈個(gè)6500/干法刻蝕Al靶材個(gè)5/PVD鍍膜水噸13200//電萬度//序號(hào)設(shè)備名稱規(guī)格型號(hào)數(shù)量單位備注1ICP刻蝕機(jī)ICP-3600C3臺(tái)PSS圖形的干法刻蝕2步進(jìn)光刻機(jī)NSR-2205I10D2臺(tái)對(duì)光刻膠曝光特定圖形3勻膠機(jī)David2臺(tái)在藍(lán)寶石表面涂光刻膠4顯影機(jī)David2臺(tái)對(duì)曝光后的光刻膠顯影5甩干機(jī)SV-702-M21臺(tái)甩干清洗后的片子63D顯微鏡usuffTMcustom1臺(tái)檢測(cè)PSS三維尺寸7光學(xué)顯微鏡BX51M（Digital）2臺(tái)檢查片子的表面狀況8清洗機(jī)定制1臺(tái)清洗襯底片表面9膜厚測(cè)量?jī)xF501臺(tái)測(cè)量光刻膠的厚度烘箱H-RUL-601臺(tái)烘烤清洗過的刻蝕托盤6浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表特氣柜/1臺(tái)供應(yīng)刻蝕機(jī)所需的氣體SEM掃描電鏡NNSEM4501臺(tái)剖面分析PSS圖形純水設(shè)備1套純水與濃水的產(chǎn)生比例為3:1序號(hào)設(shè)備名稱型號(hào)數(shù)量單位備注1晶向定向儀DX-75臺(tái)晶棒定向2多線切割機(jī)MWS-612DD5臺(tái)晶棒切割3雙面研磨機(jī)16B-5L7臺(tái)晶片研磨4超聲波清洗機(jī)LSA-121臺(tái)研磨后清洗5倒角機(jī)W-GM-42503臺(tái)倒角6酸堿清洗機(jī)CX146臺(tái)清洗7JGMT-30、TGMT-308臺(tái)高溫退火8晶片上蠟機(jī)CZTL-01A6臺(tái)上蠟9單面銅拋機(jī)NSD-4050/40364臺(tái)拋光單面拋光機(jī)NSC-4050/4036臺(tái)拋光甩干機(jī)CT-6053臺(tái)甩干自動(dòng)Candela檢查機(jī)CS20R1臺(tái)/FT17平整度檢查機(jī)nidek2臺(tái)/序號(hào)設(shè)備名稱型號(hào)數(shù)量單位備注1清洗機(jī)辛耘-ws1001臺(tái)清洗襯底片表面2超聲波清洗機(jī)/1臺(tái)清洗底片3勻膠機(jī)CND-Coater2臺(tái)涂膠4步進(jìn)式光刻機(jī)Nikon-Stepperi11D6臺(tái)光刻5顯影機(jī)CND-Developer2臺(tái)顯影6ICP刻蝕機(jī)（單腔）MAXIS-300LAH8臺(tái)干法刻蝕7ICP刻蝕機(jī)（雙腔）MAXIS-300LDH1臺(tái)干法刻蝕83D顯微鏡ZETA-3001臺(tái)尺寸測(cè)量9橢偏儀/1臺(tái)檢測(cè)真空PVD鍍膜機(jī)AppliedMaterials-PVDAIN5臺(tái)鍍膜全自動(dòng)目檢機(jī)睿勵(lì)-AOI目檢機(jī)2臺(tái)外觀檢查特氣供給系統(tǒng)上海正帆-定制1臺(tái)氣體輸送7浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表襯底片項(xiàng)目配備員工150人，96萬片PSS基AIN薄膜藍(lán)寶石襯底項(xiàng)目配備員工50人，因此原有項(xiàng)目合計(jì)員工為250人。生產(chǎn)裝置均按三班制生產(chǎn)，每班8小時(shí)光刻：1800s；顯影：1200s；PSS刻蝕：2400s；去膠：1200s；純水清洗：500s；氧水溶液（1#槽），一個(gè)存放配比為4:1的硫酸與雙氧水溶液（2#槽），另兩個(gè)存放純水（3#、4#槽）用于清洗。單個(gè)槽內(nèi)同時(shí)可清洗2盤襯底片，而單盤可同時(shí)容8浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表9浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表通過化學(xué)反應(yīng)機(jī)理進(jìn)行Al2O3材料的刻蝕；另一方面，等離子體中的BCl+2、BCl+3主提供的資料可知，基片的刻蝕深度僅為基片厚度的1/450，氣化的鋁元素極小。因此可以得到，刻蝕廢氣的主要成份仍應(yīng)為BCl3。He氣不充進(jìn)刻蝕腔參與刻蝕反），浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表的切削液（切削液與純水的配比為5:100，三天更換一次切削液，每次更換量為5升）；將切割后的襯底片放入一座超聲波清洗水槽內(nèi)，灌入清水并加溫至50度，單次可放入一批316片襯底片，注入清水40體注入由純水和清洗劑BL500配比的混合液（36:3.6），溫度設(shè)為60度，20批次浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表緣修整成圓弧狀，改善薄片邊緣的機(jī)械強(qiáng)度，避免應(yīng)力集中造成將倒角后的襯底片放入酸洗機(jī)中，每批次片子分別經(jīng)過機(jī)內(nèi)5個(gè)槽體清洗。1批次后換水，工作時(shí)間為1600S；3號(hào)槽放置混酸（磷酸、硫酸、雙氧水的配比為16:12:0.25），可注入28升混酸，使用200批次后換水，工作時(shí)間為180將清洗后襯底片放入退火爐中，退火爐將溫度升至1450度對(duì)片子進(jìn)行退火，將已貼覆襯底片的陶瓷盤反置于機(jī)內(nèi)下載臺(tái)的銅拋面上，經(jīng)上載臺(tái)下降固定浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表除。每批次可同時(shí)放置4盤陶瓷盤，2寸片加工第一批往研磨桶三批后更換桶中研磨液；4寸片加工時(shí)往研磨桶中加注20升的拋光液，在使用1清洗時(shí)間為800S，使用20批后更換；2號(hào)槽注入純浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表純水，4號(hào)槽采用噴淋、溢流方式清洗片子，5號(hào)槽只采用溢流清洗片子，兩個(gè)槽），3、PSS基AIN薄膜藍(lán)寶石襯底技改項(xiàng)目生產(chǎn)工藝流程及產(chǎn)污位制作PSS基AlN薄膜藍(lán)寶石襯底片的原材料為外延級(jí)平整的藍(lán)寶石襯底。各1200s；光刻：3600s；顯影：1200s；PSS刻蝕：1800s；去膠：500s；甩干：200s；PVD鍍膜：10浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表氧水溶液（1#槽），一個(gè)存放配比為4:1的硫酸與雙氧水溶液（2#槽），另兩個(gè)存放純水（3#、4#槽）用于清洗。單個(gè)槽內(nèi)同時(shí)可清洗2盒襯底片，而單盒可同時(shí)容浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表通過化學(xué)反應(yīng)機(jī)理進(jìn)行Al2O3材料的刻蝕；另一方面，等離子體中的BCl+2、BCl+3主提供的資料可知，基片的刻蝕深度僅為基片厚度的1/450，氣化的鋁元素極小。He不充進(jìn)刻蝕腔體參與刻蝕反應(yīng)，主要起導(dǎo)熱和均勻刻蝕盤），浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表該工序原理為在襯底片的表面通過PVD（PhsicalVaporDeposition物理氣相沉能。此方法既縮短了MOCVD的工藝時(shí)間，提高產(chǎn)量；又可以獲得高質(zhì)量的LED預(yù)濺射到輝光穩(wěn)定后，再通入高純氮?dú)猓篂R射室內(nèi)氣壓穩(wěn)定地保持在0.8Pa，接浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表表3.1-1PSS高光效圖形藍(lán)寶石襯底項(xiàng)目產(chǎn)物環(huán)節(jié)及主要污項(xiàng)目編號(hào)污染工序污染物（因子）主要去向廢水W1純水清洗1及甩干1清洗廢水（pH、SS、CODCr、石油類）經(jīng)污水站處理后納管W2顯影顯影廢水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W3刻蝕中和廢水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W4純水清洗2及甩干2清洗廢水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W5廢氣處理噴淋廢水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W6空調(diào)系統(tǒng)循環(huán)水（pH、SS、CODCr）循環(huán)使用，不外排W7純水系統(tǒng)濃水（pH、SS、CODCr、NH3-N）用于廠區(qū)綠化W8職工生活生活污水（pH、SS、CODCr、NH3-N）經(jīng)沼氣池凈化后納管廢氣G1硫酸清洗酸霧廢氣（硫酸霧）收集后經(jīng)堿噴淋處理G2勻膠有機(jī)廢氣（環(huán)己酮、非甲烷總烴等）收集后經(jīng)活性炭吸收G3顯影有機(jī)廢氣（三甲胺、甲醇、惡臭等）收集后經(jīng)活性炭吸收G4PSS刻蝕刻蝕廢氣（BCl3、AlCl3、HCl等）收集后經(jīng)堿噴淋處理G5去膠酸霧廢氣（硫酸霧）收集后經(jīng)堿噴淋處理G6熱水鍋爐天然氣燃燒廢氣（顆粒物、SO2、NOx）直接引至高空排放G7車間潔凈系統(tǒng)混合廢氣（硫酸霧、VOCs等）直接引至高空排放酸洗、去膠硫酸廢液委托處置勻膠勻膠廢液委托處置顯影廢顯影液委托處置保養(yǎng)丙酮廢液委托處置檢查不合格產(chǎn)品回用于生產(chǎn)原料包裝廢包裝桶（袋）回收利用/委托處置純水制備廢膜環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運(yùn)廢水處理污泥外運(yùn)填埋廢氣處理廢活性炭委托處置S10擦拭設(shè)備廢抹布委托處置職工生活生活垃圾環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運(yùn)噪聲/設(shè)備運(yùn)行噪聲浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表洗，1個(gè)槽用冷水清洗。由于企業(yè)未對(duì)該工序用水進(jìn)行計(jì)量，因此其廢水產(chǎn)生量只0.048t），達(dá)產(chǎn)情況下平均每天生產(chǎn)批次為40次（設(shè)備），該項(xiàng)目在顯影工序會(huì)用純水沖洗顯影后的底片，根據(jù)企業(yè)提供的資料，2英寸浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表），項(xiàng)目pHCODCrNH3-N清洗廢水1368.0t/a污染物濃度mg/m30.026.67污染物產(chǎn)生量t/a/0.01372.74E-050.0091顯影有機(jī)廢水51.3t/a污染物濃度mg/m30.026.67污染物產(chǎn)生量t/a/0.00051.03E-060.0003刻蝕中和廢水709.42t/a污染物濃度mg/m35.00300.1污染物產(chǎn)生量t/a/0.02137.09E-050.0071酸霧噴淋廢水5.8t/a污染物濃度mg/m37.6525872.497.00污染物產(chǎn)生量t/a/0.01501.44E-054.06E-05綜合廢水2134.52t/a污染物濃度mg/m3/23.650.057.78污染物產(chǎn)生量t/a/0.0500.00010.017上述綜合廢水水質(zhì)濃度低于驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告（金環(huán)監(jiān)報(bào)[2014]綜字第395號(hào)）中綜上，該項(xiàng)目生產(chǎn)廢水年產(chǎn)生量約2134.52t/a，經(jīng)廠內(nèi)污水處理站處理達(dá)入網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)后納入市政污水管網(wǎng)，最終由金華市秋濱污水處理廠處理達(dá)標(biāo)后排入金華江，一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)A標(biāo)準(zhǔn)。因此，該項(xiàng)目生產(chǎn)廢水排環(huán)境量為2134.52t/a，CODC企業(yè)空調(diào)系統(tǒng)采用自來水作為冷卻水，根據(jù)統(tǒng)計(jì)，企業(yè)2016年空調(diào)系統(tǒng)加水浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表該項(xiàng)目10t/h純水設(shè)備工作過程中會(huì)產(chǎn)生部分濃水。根據(jù)企業(yè)提供的資料，純最終由金華市秋濱污水處理廠處理達(dá)標(biāo)后排入金華江，則項(xiàng)目生活污水排放量表3.1-3該項(xiàng)目廢水污染源強(qiáng)匯總廢水種類污染物名稱產(chǎn)生量削減量排放量排放去向生產(chǎn)廢水廢水總量2134.5202134.52經(jīng)廠內(nèi)污水處理站處理后納入市政污水管網(wǎng)CODCr0.8750.7680.107NH3-N0.0002/0.011生活污水廢水總量810.00810.0經(jīng)沼氣凈化池處理后納入市政污水管網(wǎng)CODCr0.2840.2430.041NH3-N0.0280.0240.004浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表企業(yè)該項(xiàng)目配有一臺(tái)清洗機(jī)（配套兩個(gè)酸洗槽+兩個(gè)純水清洗槽），兩個(gè)酸洗3:1），1個(gè)用于去膠清洗（硫酸和雙氧水的比例為4:1）。兩個(gè)酸洗池產(chǎn)生的硫酸高排氣筒高空排放。根據(jù)驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告（金環(huán)監(jiān)報(bào)[2014]綜字第395號(hào)，監(jiān)測(cè)工況為100%達(dá)產(chǎn)），詳見下表，硫酸霧經(jīng)處理后排放速率及排放濃度符合《大氣污染單位：濃度mg/m3，速率kg/h監(jiān)測(cè)時(shí)間濃度范圍平均值平均風(fēng)量排放速率0.218~39.00.1505.39~11.97.920.092平均值0.218~39.0按90%計(jì)，則硫酸霧產(chǎn)生量約9.171t/a，約0根據(jù)驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告（金環(huán)監(jiān)報(bào)[2014]綜），（GB16297-1996）中“新污染源大氣污染物排放限值二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)”，由此可計(jì)算得非單位：濃度mg/m3，速率kg/h監(jiān)測(cè)時(shí)間濃度范圍平均值平均風(fēng)量排放速率0.94.43×1030.0040.64.60×1030.003平均值0.754.52×1030.003595%計(jì)，處理效率按70%計(jì)，則經(jīng)處理后勻膠廢氣的排放量約0.023t/a。另外，可可知，顯影液為2.38%的四甲基氫氧化銨顯影廢氣主要為少量水蒸汽和極微量的四甲基氫氧化銨分解產(chǎn)生的三甲胺及甲醇C4H13NO→C3H9N+C91.1559.1132.047.208×2.38%×10%0.0110.006及0.006t/a，由顯影機(jī)臺(tái)上方集氣罩收集后通過活性炭纖維有機(jī)廢氣凈化器處理后引至室外25m排放。收集效率按95%計(jì)，處理效率按70%計(jì)，設(shè)計(jì)風(fēng)機(jī)風(fēng)量為氯化氫作為該股廢氣的特征污染因子。根據(jù)驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告（金環(huán)監(jiān)報(bào)[201單位：濃度mg/m3，速率kg/h監(jiān)測(cè)時(shí)間濃度范圍平均值平均風(fēng)量排放速率0.044~0.3440.1920.0020.150~0.7060.4020.005平均值0.044~0.7060.2970.0035），不含灰份、硫份（總硫含量≤200mg/Nm3根據(jù)《第一次全國(guó)污染源普查工業(yè)污染源產(chǎn)排污系數(shù)手冊(cè)》，每燃燒104m3的天然氣產(chǎn)生煙氣量為136259.17m3，年耗量名稱污染物排放系數(shù)污染物排放量排放速率排放濃度1.35萬m3/a（4000h/a）煙氣量1.84×105m3/a45.99m3/h/NOx18.71kg/104m30.025t/a0.006kg/h137.3mg/m3SO24.0kg/104m30.005t/a0.001kg/h29.4mg/m3浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表）；）；表3.1-8該項(xiàng)目設(shè)備有機(jī)溶劑保養(yǎng)時(shí)間一覽表設(shè)備名稱設(shè)備數(shù)量保養(yǎng)頻次保養(yǎng)時(shí)間累計(jì)保養(yǎng)時(shí)間勻膠機(jī)215min/次37.5h顯影機(jī)25min/次0.67h光刻機(jī)215min/次2h清洗機(jī)130min/次6h刻蝕機(jī)32h/次300h80%計(jì)，處理效率按70%計(jì)，則經(jīng)處理后的丙酮及異丙醇排放量約0.042t/a及浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表單位：t/a產(chǎn)生工序污染物名稱產(chǎn)生量排放量最終去向有組織無組織*合計(jì)酸洗去膠硫酸霧9.1710.8710.459經(jīng)堿噴淋裝置處理后由25m高排氣筒排放勻膠環(huán)己酮0.0800.0230.0040.027經(jīng)活性炭纖維有機(jī)廢氣凈化器處理后引至25m高排氣筒排放顯影三甲胺0.0110.0030.000550.0040.0060.0020.00030.002保養(yǎng)丙酮0.1760.0420.0350.077異丙醇0.0190.0050.0040.009清潔異丙醇0.09400.0940.094由車間排風(fēng)系統(tǒng)收集至15m高排氣筒排放刻蝕氯化氫0.5600.02100.021經(jīng)堿噴淋裝置處理后由25m高排氣筒排放天然氣燃燒0直接引至15m高排氣筒排放NOx0.0250.02500.025SO20.0050.00500.005VOCs合計(jì)0.3860.0750.1380.213/*注：該項(xiàng)目各生產(chǎn)工序均在相對(duì)密閉的車間內(nèi)進(jìn)行，各工段散發(fā)至車間的廢氣均通過車間排風(fēng)系統(tǒng)抽至15m高排氣筒排放。因此嚴(yán)格意義上講，本項(xiàng)目沒有無組織廢氣的排放。廢包裝桶、硫酸廢液、勻膠廢液、廢顯影液、廢抹布、廢活浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表序號(hào)固廢名稱實(shí)際產(chǎn)生量t/a屬性處置方式是否符合規(guī)范1不合格品0.002一般廢物回用于生產(chǎn)符合2廢包裝桶危險(xiǎn)廢物由供應(yīng)商浙江三鷹化學(xué)試劑有限公司回收利用符合3硫酸廢液32危險(xiǎn)廢物委托浙江金泰萊環(huán)?？萍加邢薰咎幹梅?勻膠廢液0.5危險(xiǎn)廢物委托金華市萊逸園環(huán)保科技開發(fā)有限公司處置符合5廢顯影液危險(xiǎn)廢物符合6廢抹布0.06危險(xiǎn)廢物符合7廢活性炭0.7危險(xiǎn)廢物符合8丙酮廢液0.2危險(xiǎn)廢物符合9污泥2危險(xiǎn)廢物收集后外運(yùn)填埋符合廢膜0.01一般廢物環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運(yùn)符合生活垃圾7.5一般廢物環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運(yùn)符合序號(hào)設(shè)備名稱數(shù)量噪聲級(jí)dB（A）監(jiān)測(cè)距離1刻蝕機(jī)3距設(shè)備1m處2勻膠機(jī)270距設(shè)備1m處3清洗機(jī)1距設(shè)備1m處4各類風(fēng)機(jī)若干距設(shè)備1m處5水泵若干距設(shè)備1m處浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表表3.1-12原有項(xiàng)目生產(chǎn)“三廢”產(chǎn)生及排放情況一覽表污染物類型產(chǎn)生量削減量排放量廢氣硫酸霧（t/a）9.1717.841氯化氫（t/a）0.560.5390.021環(huán)己酮（t/a）0.080.0530.027三甲胺（t/a）0.0110.0070.004甲醇（t/a）0.0060.0040.002丙酮（t/a）0.1760.0990.077異丙醇（t/a）0.1130.010.103VOCs合計(jì)（t/a）0.3860.1730.213天然氣煙氣量（Nm3/a）1.84×10501.84×105SO2（t/a）0.00500.005NOX（t/a）0.02500.025廢水廢水量（t/a）2944.5202944.52CODCr（t/a）0.148NH3-N（t/a）0.02820.01320.015不合格品0.0020.0020廢包裝桶0硫酸廢液32320勻膠廢液0.50.50廢顯影液0廢抹布0.060.060廢活性炭0.70.70丙酮廢液0.20.20污泥220廢膜0.010.010生活垃圾（t/a）7.57.50LAeq70~80dB（A）夜55dB（A）浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表年產(chǎn)192萬片高精度項(xiàng)目編號(hào)污染工序污染物（因子）主要去向廢水W1定向切割切割廢水（pH、SS、CODCr、氨氮、石油類）進(jìn)污水站處理W2切割后清洗清洗廢水（pH、SS、CODCr、氨氮、石油類）W3雙面研磨研磨廢水（pH、SS、CODCr）W4研磨后清洗清洗廢水（pH、SS、CODCr）W5倒角打磨廢水（pH、SS、CODCr）W6退火前清洗清洗廢水（pH、SS、CODCr、TP）W7化拋化拋廢水（pH、SS、CODCr、銅）W8中間清洗清洗廢水（pH、SS、CODCr、銅）W9拋光液清洗清洗廢水（pH、SS、CODCr）W10酸堿清洗清洗廢水（pH、SS、CODCr、TP）W11堿噴淋塔噴淋廢水（pH、SS、CODCr）W12循環(huán)冷卻系統(tǒng)循環(huán)冷卻水（pH、SS、CODCr）循環(huán)使用，不外排W13純水系統(tǒng)濃水（pH、SS、CODCr）用于廠區(qū)綠化W14職工生活生活污水（pH、SS、CODCr、NH3-N）沼氣池凈化后納管廢氣G1退火前清洗酸洗廢氣（硫酸霧）經(jīng)堿噴淋處理G2貼蠟貼蠟廢氣（正丙醇）經(jīng)活性炭吸收G3酸堿清洗酸洗廢氣（硫酸霧）經(jīng)堿噴淋處理G4熱水鍋爐天然氣燃燒廢氣（SO2、NOx）直接引至高空排放G5車間潔凈系統(tǒng)混合廢氣（硫酸霧、正丙醇）直接引至高空排放雙面研磨廢碳化硼外賣綜合利用退火前清洗、酸堿清洗硫酸廢液委托處置貼蠟廢液體蠟委托處置銅拋銅拋廢液委托處置檢查不合格品回用于生產(chǎn)原料包裝廢包裝桶/袋原料供應(yīng)商回收廢水處理污泥委托處置純水制備廢膜環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運(yùn)職工生活生活垃圾環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運(yùn)噪聲/設(shè)備運(yùn)行噪聲浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表項(xiàng)目pHCODCrNH3-N總磷石油類定向切割廢水2.5t/a污染物濃度mg/L8.8687303.2污染物產(chǎn)生量t/a/0.0228.00E-061.25E-055.00E-083.75E-05切割后清洗廢水10.8t/a污染物濃度mg/L8.767179.0污染物產(chǎn)生量t/a/0.0081.73E-055.40E-052.16E-079.72E-05雙面研磨廢水89.64t/a污染物濃度mg/L9.7863.170.7污染物產(chǎn)生量t/a/0.0061.25E-056.27E-041.79E-066.27E-05研磨后清洗廢水523.2t/a污染物濃度mg/L7.504002.294.0污染物產(chǎn)生量t/a/0.2090.0010.0031.05E-050.002倒角工序打磨廢水836.0t/a污染物濃度mg/L9.7863.170.7污染物產(chǎn)生量t/a/0.0530.0061.67E-055.85E-04退火前清洗廢水131.7t/a污染物濃度mg/L7.50788污染物產(chǎn)生量t/a/0.1040.0056.59E-042.90E-054.74E-04化拋廢水271.70污染物濃度mg/L7.503503020000.5污染物產(chǎn)生量t/a/0.0950.0080.5435.43E-061.36E-04中間清洗廢水5217.85t/a污染物濃度mg/L7.505002.04.0污染物產(chǎn)生量t/a/2.6090.0100.0261.04E-040.021拋光液清洗廢水1259.93t/a污染物濃度mg/L7.9270.50.360.2污染物產(chǎn)生量t/a/0.0893.78E-040.0082.52E-052.52E-04酸堿清洗廢水3008.23t/a污染物濃度mg/L80040.00.223.6污染物產(chǎn)生量t/a/2.4070.1200.0156.62E-040.011酸霧噴淋塔廢水9.8t/a污染物濃度mg/L7.6525872.49///污染物產(chǎn)生量t/a/0.0252.44E-05///綜合廢水11361.35t/a污染物濃度mg/L/495.2853.020.08污染物產(chǎn)生量t/a/5.6270.1450.6020.0010.036浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表表3.1-20該項(xiàng)目廢水污染源強(qiáng)匯總廢水種類污染物名稱產(chǎn)生量削減量排放量排放去向生產(chǎn)廢水廢水總量11361.35011361.35經(jīng)廠內(nèi)污水處理站處理后納入市政污水管網(wǎng)CODCr5.6275.0590.568NH3-N0.1450.0880.057生活污水廢水總量243002430經(jīng)沼氣凈化池處理后納入市政污水管網(wǎng)CODCr0.8510.729NH3-N0.0850.0730.012浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表圖3.1-4該項(xiàng)目水平衡分析圖浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表單位：t/a產(chǎn)生工序污染物名稱產(chǎn)生量排放量最終去向有組織無組織合計(jì)清洗硫酸霧0.4470.0420.0220.064經(jīng)堿噴淋處理后引至25m高排氣筒排放貼蠟正丙醇0.38700.3870.387由車間排風(fēng)系統(tǒng)收集至15m高排氣筒排放天然氣燃燒煙氣量（Nm3/a）3.82×1053.82×10503.82×105直接引至15m高排氣筒排放NOx0.0520.05200.052SO20.0110.01100.011VOCs合計(jì)0.38700.3870.387/表3.2-4建設(shè)項(xiàng)目固體廢物分析結(jié)果固廢種類產(chǎn)生工序形態(tài)主要成分預(yù)計(jì)產(chǎn)生量t/a屬性危廢代碼廢碳化硼雙面研磨碳化硼32.5一般廢物/硫酸廢液酸洗液態(tài)硫酸、磷酸、雙氧水8.2危險(xiǎn)廢物HW34廢液體蠟貼蠟液態(tài)松香、正丙醇危險(xiǎn)廢物HW08銅拋廢液銅拋液態(tài)金剛液、銅離子、水4.5危險(xiǎn)廢物HW22不合格品檢查三氧化二鋁0.01一般廢物/廢包裝桶原料包裝金屬、塑料、玻璃危險(xiǎn)廢物HW49污泥污水處理半固態(tài)含水污泥3.0一般廢物/廢膜純水制備膜0.02一般廢物/生活垃圾職工生活紙、廚余物等22.5一般廢物/浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表序號(hào)設(shè)備名稱數(shù)量噪聲級(jí)dB（A）位置排放方式監(jiān)測(cè)距離1多線切割機(jī)590生產(chǎn)車間連續(xù)距設(shè)備1m處2雙面研磨機(jī)795生產(chǎn)車間連續(xù)距設(shè)備1m處3超聲波清洗機(jī)175生產(chǎn)車間連續(xù)距設(shè)備1m處4倒角機(jī)395生產(chǎn)車間連續(xù)距設(shè)備1m處5酸堿清洗機(jī)6生產(chǎn)車間連續(xù)距設(shè)備1m處68生產(chǎn)車間連續(xù)距設(shè)備1m處7晶片上蠟機(jī)670生產(chǎn)車間連續(xù)距設(shè)備1m處8單面銅拋機(jī)495生產(chǎn)車間連續(xù)距設(shè)備1m處9單面拋光機(jī)90生產(chǎn)車間連續(xù)距設(shè)備1m處甩干機(jī)375生產(chǎn)車間連續(xù)距設(shè)備1m處五、年產(chǎn)192萬片即開即用藍(lán)寶石襯底片技表3.2-6原有項(xiàng)目污染源強(qiáng)匯總單位：t/a污染物產(chǎn)生工序污染物名稱產(chǎn)生量削減量排放量廢水生產(chǎn)廢水生活污水廢水總量13791.35013791.35CODCr6.4785.7880.690NH3-N0.2300.1610.069廢氣清洗硫酸霧0.4470.3830.064貼蠟正丙醇0.38700.387天然氣燃燒煙氣量（Nm3/a）3.82×10503.82×105NOx0.05200.052SO20.01100.011VOCs合計(jì)0.38700.387雙面研磨廢碳化硼32.532.50酸洗硫酸廢液8.28.20貼蠟廢液體蠟0銅拋銅拋廢液4.54.50檢查不合格品0.010.010原料包裝廢包裝桶0污水處理污泥3.03.00純水制備廢膜0.020.020職工生活生活垃圾22.522.50浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表項(xiàng)目編號(hào)污染工序污染物（因子）主要去向廢水W1純水清洗1及甩干1清洗廢水（pH、SS、CODCr、石油類）經(jīng)污水站處理后納管W2顯影顯影廢水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W3刻蝕中和廢水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W4純水清洗2及甩干2清洗廢水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W5超聲波清洗清洗廢水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W6廢氣處理噴淋廢水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W7循環(huán)冷卻系統(tǒng)循環(huán)冷卻水（pH、SS、CODCr）循環(huán)使用，不外排W8純水系統(tǒng)濃水（pH、SS、CODCr、NH3-N）用于廠區(qū)綠化W9職工生活生活污水（pH、SS、CODCr、NH3-N）經(jīng)沼氣池凈化后納管廢氣G1硫酸清洗酸霧廢氣（硫酸霧）收集后經(jīng)堿噴淋處理G2勻膠有機(jī)廢氣（環(huán)己酮、非甲烷總烴等）收集后經(jīng)活性炭吸收G3顯影有機(jī)廢氣（三甲胺、甲醇、惡臭等）G4PSS刻蝕刻蝕廢氣（BCl3、AlCl3、HCl等）收集后經(jīng)堿噴淋處理G5去膠酸霧廢氣（硫酸霧）G6熱水鍋爐天然氣燃燒廢氣（顆粒物、SO2、NOx）直接引至高空排放G7設(shè)備保養(yǎng)有機(jī)廢氣（丙酮、異丙醇等VOCs）收集后經(jīng)活性炭吸收G8日常清潔及車間潔凈系統(tǒng)混合廢氣（硫酸霧、VOCs等）直接引至高空排放酸洗、去膠硫酸廢液委托處置勻膠勻膠廢液委托處置顯影廢顯影液委托處置檢查不合格產(chǎn)品回用于生產(chǎn)原料包裝廢包裝桶回收利用/委托處置擦拭設(shè)備廢抹布委托處置廢氣處理廢活性炭委托處置廢水處理污泥外運(yùn)填埋設(shè)備保養(yǎng)丙酮廢液委托處置S10純水制備廢膜環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運(yùn)職工生活生活垃圾環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運(yùn)噪聲/設(shè)備運(yùn)行噪聲浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表根據(jù)企業(yè)提供的資料，技改項(xiàng)目將新增1臺(tái)清洗機(jī)（日最大生），管網(wǎng)。清洗用水量類比現(xiàn)有項(xiàng)目（清洗機(jī)尺寸及換水頻），提供的資料，4英寸單片清洗消耗的純水量比2英寸單氨氮濃度分別為10mg/L及0.02mg/L，則該股廢水CODCr、氨氮年產(chǎn)生量分別為浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表料，該超聲波清洗機(jī)采用流動(dòng)式水流清洗，水流量約9L/min，日工作時(shí)間約16h聲波清洗廢水產(chǎn)生量約為2462.4t/a，排入污水處理站處理達(dá)標(biāo)后納入市政污水管企業(yè)擬新建一套酸霧噴淋塔處理清洗機(jī)產(chǎn)生的酸霧廢氣，廢氣經(jīng)處理后引至約半年左右更換一次，則洗滌塔廢水排放量約為9.8t/a。廢水水質(zhì)類比現(xiàn)有項(xiàng)目，為0.190t/a及0.0005t/a（為保守起見，按污水站進(jìn)口濃度計(jì)算后分別為2.902t/a及0.0006t/a經(jīng)廠內(nèi)污水處理站處理達(dá)入網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)后納入市政污水管網(wǎng)，最處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB18918-2002）一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)廢水排環(huán)境量為7078.1t/a，CODCr排環(huán)境量為0.354t/a，NH3-N排環(huán)境量為技改項(xiàng)目所在生產(chǎn)車間同現(xiàn)有項(xiàng)目一致，因浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表2000t/a，冷卻水經(jīng)冷水機(jī)組冷卻后企業(yè)技改項(xiàng)目擬新增員工50人，三班制生產(chǎn)，年工作300天。員工生活用水廢水種類污染物名稱產(chǎn)生量削減量排放量排放去向生產(chǎn)廢水廢水總量7078.107078.1經(jīng)廠內(nèi)污水處理站處理后納入市政污水管網(wǎng)CODCr2.9022.5480.354NH3-N0.0006-0.0340.035生活污水廢水總量810.00810.0經(jīng)沼氣凈化池處理后納入市政污水管網(wǎng)CODCr0.2840.2430.041NH3-N0.0280.0240.004浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表單位：t/a產(chǎn)生工序污染物名稱產(chǎn)生量排放量最終去向有組織無組織*合計(jì)酸洗去膠硫酸霧9.1710.8710.459經(jīng)堿噴淋裝置處理后由25m高排氣筒排放勻膠環(huán)己酮0.1640.0470.0080.055經(jīng)活性炭纖維有機(jī)廢氣凈化器處理后引至25m高排氣筒排放顯影三甲胺0.0490.0140.0020.0160.0270.0080.0010.009保養(yǎng)丙酮0.2350.0560.0470.103異丙醇0.0820.0200.0160.036清潔異丙醇0.28300.2830.283由車間排風(fēng)系統(tǒng)收集至15m高排氣筒排放刻蝕氯化氫4.7600.19000.190經(jīng)堿噴淋裝置處理后由25m高排氣筒排放天然氣燃燒4.41×1054.41×10504.41×105直接引至15m高排氣筒排放NOx0.0610.06100.061SO20.0130.01300.013VOCs合計(jì)0.8400.1450.3570.502/浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表表3.3-4建設(shè)項(xiàng)目固體廢物分析結(jié)果固廢種類產(chǎn)生工序形態(tài)主要成分預(yù)計(jì)產(chǎn)生量t/a屬性危廢代碼不合格品檢查三氧化二鋁0.006一般廢物/*廢包裝桶原料包裝塑料、玻璃4.5危險(xiǎn)廢物HW49硫酸廢液酸洗、去膠液態(tài)硫酸59危險(xiǎn)廢物HW34勻膠廢液勻膠液態(tài)光刻膠危險(xiǎn)廢物HW16廢顯影液顯影液態(tài)顯影液危險(xiǎn)廢物HW16廢抹布擦拭布、有機(jī)物0.2危險(xiǎn)廢物HW49廢活性炭有機(jī)廢氣處理活性炭危險(xiǎn)廢物HW49污泥污水處理半固態(tài)含水污泥2.0一般廢物/丙酮廢液設(shè)備保養(yǎng)液態(tài)丙酮0.5危險(xiǎn)廢物HW06廢膜純水制備膜0.02一般廢物/生活垃圾職工生活紙、廚余物等7.5一般廢物/序號(hào)設(shè)備名稱數(shù)量噪聲級(jí)dB（A）位置排放方式監(jiān)測(cè)距離1刻蝕機(jī)9生產(chǎn)車間連續(xù)距設(shè)備1m處2勻膠機(jī)270生產(chǎn)車間連續(xù)距設(shè)備1m處3清洗機(jī)1生產(chǎn)車間連續(xù)距設(shè)備1m處4真空PVD鍍膜機(jī)575生產(chǎn)車間連續(xù)距設(shè)備1m處5超聲波清洗機(jī)175生產(chǎn)車間連續(xù)距設(shè)備1m處6各類風(fēng)機(jī)若干生產(chǎn)車間連續(xù)距設(shè)備1m處7水泵若干生產(chǎn)車間、污水站連續(xù)距設(shè)備1m處浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表表3.3-6原有項(xiàng)目污染物產(chǎn)生及排放情況匯總單位：t/a污染物產(chǎn)生工序污染物名稱產(chǎn)生量削減量排放量廢水生產(chǎn)廢水生活污水廢水總量7888.107888.1CODCr3.1862.7920.394NH3-N0.029-0.0100.039廢氣酸洗、去膠硫酸霧9.1717.841勻膠環(huán)己酮0.1640.1090.055顯影三甲胺0.0490.0330.0160.0270.0180.009保養(yǎng)丙酮0.2350.1320.103異丙醇0.0820.0460.036清潔異丙醇0.28300.283刻蝕氯化氫4.7604.5700.190天然氣燃燒煙氣量（Nm3/a）4.41×10504.41×105NOx0.06100.061SO20.01300.013VOCs合計(jì)0.8400.3380.502檢查不合格品0.0060.0060原料包裝廢包裝桶4.54.50酸洗、去膠硫酸廢液59590勻膠勻膠廢液0顯影廢顯影液0擦拭設(shè)備廢抹布0.20.20有機(jī)廢氣處理廢活性炭0污水處理污泥2.02.00設(shè)備保養(yǎng)丙酮廢液0.50.50純水制備廢膜0.020.020職工生活生活垃圾7.57.50浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表表3.4-1原有項(xiàng)目污染物產(chǎn)生及排放情況匯總單位：t/a污染物污染物名稱產(chǎn)生量削減量排放量廢水廢水總量24623.95024623.95CODCr4.0232.792NH3-N0.12300.123廢氣硫酸霧10.5657.8412.724環(huán)己酮0.1910.1090.082三甲胺0.0530.0330.0200.0290.0180.011丙酮0.3120.1320.180異丙醇0.4680.0460.422氯化氫4.7814.570.211正丙醇0.38700.387煙氣量（Nm3/a）505NOx0.13800.138SO20.02900.029合計(jì)VOCs0.338不合格品0.0720.0720廢包裝桶0硫酸廢液99.299.20勻膠廢液0廢顯影液6.86.80丙酮廢液0.70.70廢抹布0.260.260廢活性炭2.12.10廢碳化硼32.532.50廢液體蠟0銅拋廢液4.44.40污泥770廢膜0.050.050生活垃圾37.537.50浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表根據(jù)金環(huán)建開[2017]76號(hào)（見附件）文件，企業(yè)原有項(xiàng)目總量控制指標(biāo)為：1.3.6原有項(xiàng)目污染防治措施、存在的問題及整改要求表3.6-1現(xiàn)有項(xiàng)目污染防治措施及存在的問題項(xiàng)目原環(huán)評(píng)及批復(fù)要求的措施企業(yè)實(shí)際采取的措施存在的問題及整改要求廢氣硫酸霧收集后經(jīng)廢氣洗滌塔堿噴淋處理后通過室外25m排氣筒高空排放。廢氣收集后經(jīng)廢氣洗滌塔堿噴淋處理后于25m高空排放，該設(shè)施已通過環(huán)保驗(yàn)收。硫酸霧監(jiān)測(cè)濃度接近允許值，建議加強(qiáng)噴淋系統(tǒng)的維護(hù)。刻蝕廢氣勻膠廢氣收集后經(jīng)活性炭纖維有機(jī)廢氣凈化器處理后引至25m排氣筒高空排放。三股廢氣收集后一起經(jīng)活性炭纖維有機(jī)廢氣凈化器處理后于25m高空排放，該設(shè)施已通過環(huán)保驗(yàn)收。無顯影廢氣保養(yǎng)廢氣車間排風(fēng)系統(tǒng)廢氣收集后直接引至15m排氣筒高空排放。收集后直接引至15m排氣筒高空排放。無天然氣燃燒廢氣收集后引至15m以上高空排放。燃燒煙氣收集后引至15m高空排放。無廢水廢水項(xiàng)目須進(jìn)一步做好廠區(qū)雨污分流、清污分流系統(tǒng)、事故應(yīng)急系統(tǒng)完善，以及生產(chǎn)裝置區(qū)地面的防腐防滲漏工作。雨水排入市政雨水管網(wǎng)；冷卻水循環(huán)使用；生產(chǎn)廢水入公司污水處理站經(jīng)中和、沉淀、水解酸化、氧化及MBR處理后排入市政污水管網(wǎng)；生活污水經(jīng)沼氣凈化池處理后排入市政污水管網(wǎng)。項(xiàng)目采用雨污分流、清污分流制；雨水排入市政雨水管網(wǎng)；冷卻水循環(huán)使用；生產(chǎn)廢水入公司污水處理站處理后排入市政污水管網(wǎng)；生活污水經(jīng)沼氣凈化池處理后排入市政污水管網(wǎng)；設(shè)有容積約220m3的事故應(yīng)急池。廢水處理設(shè)施已通過環(huán)保驗(yàn)收。無浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表廢原料包裝桶（袋）、硫酸廢抹布、污水處理污泥、廢活性炭、丙酮廢液屬于危險(xiǎn)及時(shí)委托有資質(zhì)單位處置。廠內(nèi)暫存場(chǎng)所須按規(guī)范要求做好防雨、防滲、防漏工作，純水制備膜、生活垃圾收集后由環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運(yùn)。不合格產(chǎn)品回用于生產(chǎn)。廢原料包裝桶（袋）由原料供應(yīng)商浙江三鷹化學(xué)試劑有限公司回收利用；硫酸廢液委托浙江金泰萊環(huán)?？萍加邢薰咎幹茫粍蚰z廢液、廢顯影液、丙酮廢液、廢抹布、廢物污泥、廢活性炭等委托金華市萊逸園環(huán)保科技開發(fā)有限公司安全處置；不合格品回用于生產(chǎn)；廢純水制備膜、生活垃圾由環(huán)衛(wèi)部門清運(yùn)。危廢轉(zhuǎn)移聯(lián)單制度執(zhí)行情況有待規(guī)范；危廢倉庫建設(shè)有待改進(jìn)。合理廠區(qū)車間布局，選用低噪聲設(shè)備，對(duì)高噪聲源采用隔音、消聲、減振等措施進(jìn)行治理。設(shè)備安裝時(shí)已采取加固減振措施；廠區(qū)綠化較好；生產(chǎn)班制為三班制，企業(yè)各獨(dú)立車間密閉性好，噪聲對(duì)外界環(huán)境影響不大。無1、因噴淋塔排放口硫酸霧濃度已接近允許排放標(biāo)準(zhǔn)，建議企業(yè)加強(qiáng)對(duì)酸霧噴2、企業(yè)應(yīng)進(jìn)一步規(guī)范危廢轉(zhuǎn)移聯(lián)單制度的執(zhí)行，做好危廢轉(zhuǎn)移的調(diào)賬記錄，3、企業(yè)應(yīng)繼續(xù)保持各項(xiàng)污染防治設(shè)施的正常運(yùn)行，建立健全各項(xiàng)環(huán)保規(guī)章制度，做好環(huán)保設(shè)施的管理和維護(hù)工作，落實(shí)應(yīng)急預(yù)案，4、鑒于目前在用危廢倉庫地勢(shì)較低，易受雨澇影響，建議盡早建設(shè)符合要求浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表2、項(xiàng)目所在地自然環(huán)境社會(huì)環(huán)境簡(jiǎn)況西跨度151公里，土地面積10942平方公里。市區(qū)位于東陽江、武義江和金華江交南屬仙霞嶺，北、西北接龍門山及千里崗山脈。山地內(nèi)側(cè)散布起伏相對(duì)和緩的丘陵，浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表金華市域內(nèi)江河分屬錢塘江、甌江、曹娥江、椒江4大水系，流域面積分別為9332.73平方公里、949.71平方公里、341.6平方公里和293.96平方公里，分別占浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表有地質(zhì)根據(jù)計(jì)算的總儲(chǔ)量在3000萬噸以上。主要分布在武義、永康、義烏、東陽、），樹居首位，中型礦床（礦石儲(chǔ)量大于50萬噸）30處，小型礦床60處及礦點(diǎn)礦化點(diǎn)金華九龍--山口巖礦儲(chǔ)量0.8億噸。沸石資源主要分布于金華湯溪、永康中山、東陽鉛、鋅、煤、石煤、鈾、磷、石墨、珍珠巖、方解石等15種。其中主要已經(jīng)開發(fā)利用的礦產(chǎn)有螢石、水泥用灰?guī)r、磚瓦用粘土、建筑石料、建筑用砂、飾面用花崗石、種，其中森林樹種440種，草本植物約300余種，農(nóng)作物品種資源800余種。屬國(guó)巖茶，東陽的東白茶、席草，東陽、磐安的藥材“浙八味”中的白術(shù)、白芍、元浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表鯽魚以及長(zhǎng)春鳊、三角魴、團(tuán)頭魴、鲴魚、鱖魚、鰉魚、泥鰍、黃鱔、鯰魚等30多2.2社會(huì)環(huán)境簡(jiǎn)況(社會(huì)經(jīng)濟(jì)結(jié)構(gòu)、教育、文化、文物保護(hù)等)口30.05萬人。金華屬于“文化之邦”，有較好的人文地理?xiàng)l件。金華市的文化教2017年全市實(shí)現(xiàn)地區(qū)生產(chǎn)總值3870億元，增長(zhǎng)6.5%；一般公共預(yù)算收入357.7），2013年10月，按照省委、省政府關(guān)浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表園區(qū)”、“首批省級(jí)電子商務(wù)示范園區(qū)”、“浙江省工業(yè)循環(huán)經(jīng)濟(jì)示范2.3.1金華市城市總體規(guī)劃修改（2006－2022020年市區(qū)人口預(yù)測(cè)為165—185萬人，城市化水平84%；中心城區(qū)人浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表④市區(qū)空間發(fā)展戰(zhàn)略：“兩山一廊，聚合主軸”“兩山一廊”：南山、北山為主要生態(tài)空間加強(qiáng)保護(hù)，中部走廊作為發(fā)展主軸妥善），），）：1、基本特征：面積44.31平方公里；為金華開發(fā)區(qū)江南區(qū)塊以工業(yè)發(fā)展為主的（2）環(huán)境質(zhì)量目標(biāo)：地表水環(huán)境質(zhì)量達(dá)到Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)；環(huán)境空氣質(zhì)量達(dá)到二級(jí)標(biāo)（1）嚴(yán)格實(shí)施污染物總量控制制度，根據(jù)環(huán)境功能目標(biāo)實(shí)現(xiàn)情況，編制實(shí)施重（2）禁止新建、擴(kuò)建三類工業(yè)項(xiàng)目，但鼓勵(lì)對(duì)三類工業(yè)項(xiàng)目進(jìn)行淘汰和提升改（4）優(yōu)化居住區(qū)與工業(yè)功能區(qū)布局，在居住區(qū)和工業(yè)功能區(qū)、工業(yè)企業(yè)之間設(shè)浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表（7）加大工業(yè)點(diǎn)源達(dá)標(biāo)治理力度，推進(jìn)企業(yè)廢水治理設(shè)施建設(shè)，加快污水處理（9）最大限度保留原有自然生態(tài)系統(tǒng)，保護(hù)好河湖濕生境，禁止未經(jīng)法定許可5、符合性分析：本項(xiàng)目為電子專用材料制造項(xiàng)目，不屬于三類工業(yè)項(xiàng)目。本項(xiàng)目不屬于《部分工業(yè)行業(yè)汰落后生產(chǎn)工藝裝備和產(chǎn)品指導(dǎo)目錄(20102.4.1金華市秋濱污水處理廠一期工程概況計(jì)，分期實(shí)施，先行實(shí)施一期工程，一期工程位于金華江），浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司年產(chǎn)400萬片高精度即開即用藍(lán)寶石襯底片技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表2.4.2金華市秋濱污水處理廠二期工程概況金華市秋濱污水處理廠二期工程位于污水處理廠廠區(qū)西側(cè)和北側(cè)，總投資2.75），），2.4.3金華市秋濱污水處理廠三期工程概況金華市秋濱污水處理廠三期工程位于金華市秋濱污水處理廠現(xiàn)有廠區(qū)西南側(cè)和配套設(shè)施，出水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)為《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB18918-2002）度處理工藝。三