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文檔簡介
關于壓電式壓磁式第1頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三壓電陶瓷位移器壓電陶瓷超聲換能器壓電秤重浮游計壓電加速度計壓電警號第2頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三
壓電式傳感器的原理:是以某些電介質(zhì)的壓電效應為基礎,在外力作用下,在電介質(zhì)的表面上產(chǎn)生電荷,從而實現(xiàn)非電量測量。
特點:壓電式傳感器具有響應頻帶寬,靈敏度高、信噪比大、結(jié)構簡單、工作可靠、重量輕等優(yōu)點。
應用領域:壓電傳感元件是力敏感元件,它可以測量最終能變換為力的非電物理量,例如動態(tài)力、動態(tài)壓力、振動加速度,在工程力學、生物醫(yī)學、石油勘探、聲波測井、電聲學等領域得到了廣泛的應用。
第3頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三第一節(jié)壓電效應及壓電材料
一、壓電效應二、石英晶體(SiO2)的壓電效應三、陶瓷的壓電效應四、壓電材料第4頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三第5頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三一、壓電效應
順(正)壓電效應:
某些電介質(zhì),當沿著一定方向?qū)ζ涫┝Χ顾冃螘r,內(nèi)部就產(chǎn)生極化現(xiàn)象,同時在它的一定表面上便產(chǎn)生符號相反的電荷;當外力去掉后,又重新恢復到不帶電狀態(tài);當作用力方向改變時,電荷極性也隨之改變。這種機械能轉(zhuǎn)化為電能的現(xiàn)象稱為正壓電效應或順壓電效應。返回第6頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三F------++++++FFF++++++------第7頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三逆壓電效應(電致伸縮效應)
當在電介質(zhì)的極化方向施加電場,這些電介質(zhì)就在一定方向上產(chǎn)生機械變形或機械壓力,當外加電場撤去時,這些變形或應力也隨之消失,這種將電能轉(zhuǎn)變?yōu)闄C械能的現(xiàn)象。正壓電效應電能機械能逆壓電效應
壓電元件返回第8頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三二、石英晶體(SiO2)的壓電效應ZXY縱向軸Z-Z稱為光軸經(jīng)過正六面體棱線,并垂直于光軸的X-X軸稱為電軸與X-X軸和Z-Z軸同時垂直的Y-Y軸(垂直于正六面體的棱面)稱為機械軸第9頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三(a)晶體外形;(b)切割方向;(c)晶片
石英坐標第10頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三1、石英晶體產(chǎn)生壓電效應原理“+”代表Si4+,“-”代表2O2-。
第11頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三F=0時正、負離子在正六邊形頂角P1、P2、P3互成120o夾角正負電荷中心重合電偶極矩的矢量和等于零
P1+P2+P3=0此時晶體表面不產(chǎn)生電荷,即呈中性。第12頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三受X方向壓力時正、負電荷重心不再重合P1減小,P2、P3增大(P1+P2+P3)X<0(P1+P2+P3)Y=0(P1+P2+P3)Z=0
這種沿X軸施加力,而在垂直于X軸晶面上產(chǎn)生電荷的現(xiàn)象即為縱向壓電效應。第13頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三受Y軸壓力與X方向拉力相同(P1+P2+P3)X>0X軸的正向:負電荷Y、Z軸方向無電荷
這種沿Y軸施加力,而在垂直于X軸晶面上產(chǎn)生電荷的現(xiàn)象即為橫向壓電效應。第14頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三受Z軸力:無論是壓力還是拉力作用都會使晶體在x方向和y方向產(chǎn)生完全相同的形變,所以,正、負電荷重心保持重合,電偶極矩矢量和等于零。這就表明,在沿z(即光軸)方向的力Fz作用下,晶體不產(chǎn)生壓電效應。(切向壓電效應)石英壓電效應返回第15頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三2、縱向壓電效應d11為x方向受力的壓電系數(shù)
d11=2.31×10-12C/NFX為作用力xbzyac返回第16頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三3、橫向壓電效應d12——y軸方向受力的壓電系數(shù);石英晶體對稱性,有d12=-d11;
a-長度;b-厚度。
返回第17頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三①當晶片受到x方向的壓力作用時,qx只與作用力Fx成正比,而與晶片的幾何尺寸無關;②沿機械軸y方向向晶片施加壓力時,產(chǎn)生的電荷是與幾何尺寸有關的;③石英晶體不是在任何方向都存在壓電效應;
④晶體在哪個方向上有正壓電效應,則在此方向上一定存在逆壓電效應;
⑤無論是正或逆壓電效應,其作用力(或應變)與電荷(或電場強度)之間皆呈線性關系。結(jié)論:返回第18頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三三、陶瓷的壓電效應無外電場作用時總極化強度為零施加外電場時電疇自發(fā)極化方向與外電場一致外電場去掉后具剩余極化強度人造多晶體:經(jīng)極化處理后的人工多晶鐵電體電疇剩余極化強度第19頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三----------
+++++自由電荷束縛電荷電極電極+++++極化方向無外力作用時電壓表不能測出陶瓷片內(nèi)的極化程度束縛電荷會吸附自由電荷陶瓷片對外不表現(xiàn)極性第20頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三這種由機械效應轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦?,或者由機械能轉(zhuǎn)變?yōu)殡娔艿默F(xiàn)象,就是正壓電效應。d33:壓電陶瓷壓電系數(shù)F:作用力
加外力+++++-----++++
+極化方向F電疇偏轉(zhuǎn),極化強度變小,自由電荷釋放-----++--返回第21頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三第22頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三逆壓電效應:由于電效應而轉(zhuǎn)變?yōu)闄C械效應或者由電能轉(zhuǎn)變?yōu)闄C械能的現(xiàn)象。------++++++++++++------極化方向電場方向E返回第23頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三第24頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三(a)縱向變形y++++FzFzxz----d33:壓電陶瓷的壓電系數(shù);Fz:作用力。第25頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三①轉(zhuǎn)換性能。要求具有較大的壓電常數(shù)。②機械性能。機械強度高、剛度大。具有較高的固有振動頻率。③電性能。高電阻率和大介電常數(shù)。
為了減少電荷的泄漏以及外部分布電容的影響。④環(huán)境適應性。溫度和濕度穩(wěn)定性要好,要求具有較高的居里點,獲得較寬的工作溫度范圍。⑤時間穩(wěn)定性。要求壓電性能不隨時間褪化。壓電材料具備主要特性:四、壓電材料指壓電材料開始喪失壓電特性的溫度。返回第26頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三1、石英晶體石英(SiO2)是一種具有良好壓電特性的壓電晶體。其介電常數(shù)和壓電系數(shù)的溫度穩(wěn)定性相當好。在20℃~200℃范圍內(nèi),溫度每升高1℃,壓電系數(shù)僅減少0.016%。但是當?shù)?73℃時,它完全失去了壓電特性,這就是它的居里點。斜率:-0.016%/℃1.000.990.980.970.960.9520406080100120140160180200dt/d20t℃石英的d11系數(shù)相對于20℃的d11溫度變化特性6543210100200300400500600t/℃相對介電常數(shù)ε居里點石英在高溫下相對介電常數(shù)的溫度特性第27頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三
優(yōu)點:
性能非常穩(wěn)定,機械強度高,絕緣性能也相當好。
缺點:價格昂貴,且壓電系數(shù)比壓電陶瓷低得多。用于標準儀器或要求較高的傳感器中。
切割:
各向異性晶體,按不同方向切割,物理性質(zhì)(如彈性、壓電效應、溫度特性等)相差很大。根據(jù)不同使用要求正確地選擇石英片的切型。
組成:
天然和人工培養(yǎng)兩種類型。因其物理和化學性質(zhì)幾乎沒有區(qū)別,廣泛應用成本較低的人造石英晶體。第28頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三天然形成的石英晶體外形第29頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三人工合成水晶雙面鍍銀并封裝壓電晶片石英晶體薄片石英晶體切片及封裝第30頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三(2)水溶性壓電晶體
屬于單斜晶系的有酒石酸鉀鈉(NaKC4H4O6·4H2O),硫酸鋰(Li2SO4·H2O);屬于正方晶系的有磷酸二氫鉀(KH2PO4,簡稱KDP)等。壓電靈敏度和介電常數(shù)較高但易受潮,機械強度較低,電阻率低。只限于在室溫和濕度低的環(huán)境下使用。第31頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三(3)鈮酸鋰晶體(LiNbO2)通過人工提拉法制成。與石英晶體相似,也是一種單晶體,無色或淺黃色,透明。因為是單晶體,所以時間穩(wěn)定性比多晶體的壓電陶瓷好得多。是一種壓電性能良好的電-聲換能材料。熔點1250℃,居里點1210℃。在耐高溫的傳感器上應用廣泛。比石英晶體脆弱,而且熱沖擊性很差,所以在加工裝配和使用中必須小心謹慎,避免用力過猛和急冷急熱。第32頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三
⑴鈦酸鋇壓電陶瓷鈦酸鋇(BaTiO3)是由碳酸鋇(BaCO3)和二氧化鈦(TiO2)按1:1分子比例在高溫下合成的壓電陶瓷。它具有很高的介電常數(shù)和較大的壓電系數(shù)約為石英晶體的50倍。不足之處是居里溫度低(120℃),溫度穩(wěn)定性和機械強度不如石英晶體。2、壓電陶瓷第33頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三
⑵
鋯鈦酸鉛系壓電陶瓷(PZT)
鋯鈦酸鉛是由PbTiO3和PbZrO3組成的固溶體Pb(Zr、Ti)O3。它與鈦酸鋇相比,壓電系數(shù)更大,居里溫度在300℃以上,各項機電參數(shù)受溫度影響小,時間穩(wěn)定性好。此外,在鋯鈦酸中添加一種或兩種其它微量元素(如鈮Nb、銻Sb、錫Sn、錳Mn、鎢W等)還可以獲得不同性能的PZT材料。因此鋯鈦酸鉛系壓電陶瓷是目前壓電式傳感器中應用最廣泛的壓電材料。
第34頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三
(3)鈮酸鹽系壓電陶瓷
這一系中是以鐵電體鈮酸鉀(KNbO3)和鈮酸鉛(PbNb2O6)為基礎的。鈮酸鉀和鈦酸鋇十分相似,但所有的轉(zhuǎn)變都在較高溫度下發(fā)生,在冷卻時又發(fā)生同樣的對稱程序:立方、四方、斜方和菱形。居里點為435℃。鈮酸鉛的特點是能經(jīng)受接近居里點(570℃)的高溫而不會去極化,有大的
d33/d31比值和非常低的機械品質(zhì)因數(shù)QM。鈮酸鉀特別適用于作10~40MHz的高頻換能器。近年來鈮酸鹽系壓電陶瓷在水聲傳感器方面受到重視。由于它的性能比穩(wěn)定,適用于深海水聽器。第35頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三(4)鈮鎂酸鉛壓電陶瓷(PMN)
它由鈮鎂酸鉛 、鋯酸鉛(PbZrO3)和鈦酸鉛(PbTiO3)三種化合物按不同比例配出不同性能的壓電陶瓷。具有極高的壓電系數(shù)(d33=800×10-12~900×10-12C/N)和較高的居里點(260℃),而且能承受較高的壓力(7×107Pa)。因此可作為工作在高溫下的測力傳感器的壓電元件。第36頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三打火用壓電陶瓷壓電陶瓷蜂鳴器
壓電陶瓷外形超聲波美容儀器用壓電陶瓷晶片醫(yī)用B超換能器用晶片第37頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三第38頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三3.壓電半導體材料如硫化鋅ZnS、硫化鎘CdS、氧化鋅ZnO、碲化鎘CdTe、碲化鋅ZnTe、砷化鎵CaAs,既具有壓電特性,又具有半導體特性,有利于將元件和線路集成于一體,研制新型集成壓電傳感器測試系統(tǒng)。這種力敏器件具有靈敏度高,響應時間短等優(yōu)點。此外用ZnO作為表面聲波振蕩器的壓電材料,可測取力和溫度等參數(shù)。第39頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三3、高分子壓電材料某些合成高分子聚合物薄膜經(jīng)延展拉伸和電場極化后,具有一定的壓電性能,壓電薄膜有聚二氟乙烯PVF2、聚氟乙烯PVF、聚氯乙烯PVC、聚γ甲基-L谷氨酸脂PMG等。高分子壓電材料是一種柔軟的壓電材料,不易破碎,可以大量生產(chǎn)和制成較大的面積。第40頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三第二節(jié)壓電傳感器的等效電路及測量電路一、壓電晶片的連接方式二、壓電傳感器的等效電路三、壓電傳感器的測量電路第41頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三一、壓電晶片的連接方式1、并聯(lián)連接+++------++++-并聯(lián)接法輸出電荷大,本身電容大,時間常數(shù)大,適宜用在測量慢變信號并且以電荷作為輸出量的場合。第42頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三2、串聯(lián)連接+++------+++-+串聯(lián)接法輸出電壓大,本身電容小,適宜用于以電壓作輸出信號,并且測量電路輸入阻抗很高、頻率較高的場合。返回第43頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三受力和變形(a)厚度變形(b)長度變形(c)體積變形(d)面切變形(e)剪切變形效應類型第44頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三二、壓電傳感器的等效電路++++――――q電極壓電晶體qCe靜電發(fā)生器電容器第45頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三
壓電傳感器可等效為電壓源Ua和一個電容器Ce的串聯(lián)電路,如圖(a);也可等效為一個電荷源q和一個電容器Ce的并聯(lián)電路,如圖(b)。(a)電壓等效電路CeU=q/Ceq=UCeCe(b)電荷等效電路第46頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三Cc:連接電纜等效電容Ri:放大器輸入電阻Ci:放大器輸入電容Rd:傳感器泄漏電阻實際等效電路第47頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三三、壓電傳感器的測量電路
壓電式傳感器的前置放大器有兩個作用:把壓電式傳感器的高輸出阻抗變換成低阻抗輸出;放大壓電式傳感器輸出的微弱信號。
前置放大器形式:電壓放大器,用電阻反饋,其輸出電壓與輸入電壓(傳感器的輸出電壓)成正比;電荷放大器,用電容板反饋,其輸出電壓與輸入電荷成正比。第48頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三1、電壓放大器若壓電元件材料受正弦力作用,則產(chǎn)生的電壓值為Fm—作用力的幅值—電壓幅值~~第49頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三可得放大器輸入端的電壓Ui,其復數(shù)形式為ui的幅值Uim為輸入電壓與作用力之間的相位差φ為其中第50頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三
在理想情況下,傳感器的Ra電阻值與前置放大器輸入電阻Ri都為無限大,即ω(Ca+Cc+Ci)R>>1,那么由式(6-8)可知,理想情況下輸入電壓幅值Uim為
上式表明前置放大器輸入電壓Uim與頻率無關,一般在ω/ω0>3時,就可以認為Uim與ω無關,ω0表示測量電路時間常數(shù)之倒數(shù),即
第51頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三電壓靈敏度討論:靈敏度與被測信號頻率無關,即輸入電壓與作用力的頻率無關,這說明壓電式傳感器的高頻響應相當好,所以用于高頻較便利的測量。壓電傳感器不能測靜態(tài)量。⑶為了得到好的低頻響應特性,⑷靈敏度與連接電纜有關,更換電纜需要重新標定其中返回(2)ω/ω0>3第52頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三(1+A)Cf>>Ce+Cc+Ci時2、電荷放大器返回第53頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三第三節(jié)壓電傳感器的應用一、壓電式壓力傳感器二、壓電式力傳感器三、壓電加速度傳感器四、交通監(jiān)測
五、壓電式玻璃破碎報警器六、壓電式聲傳感器七、壓電式流量計八、壓電式傳感器在測漏中的應用第54頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三1壓電式壓力傳感器第55頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三1、壓電式壓力傳感器引線殼體基座壓電晶片受壓膜片導電片p第56頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三2、單向測力傳感器
傳感器上蓋為傳力元件,它的外緣壁厚為0.1~0.5mm,外力作用使它產(chǎn)生彈性變形,將力傳遞到石英晶片上。石英晶片采用xy切型,利用其縱向壓電效應,通過d11實現(xiàn)力—電轉(zhuǎn)換。該傳感器的測力范圍為0~50N,最小分辨率為0.01N,固有頻率為50~60kHz,整個傳感器重為10g。
第57頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三3、動態(tài)切削力的測量
第58頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三由于壓電陶瓷元件的自振頻率高,特別適合測量變化劇烈的載荷。圖中壓電傳感器位于車刀前部的下方,當進行切削加工時,切削力通過刀具傳給壓電傳感器,壓電傳感器將切削力轉(zhuǎn)換為電信號輸出,記錄下電信號的變化便可測得切削力的變化。壓電式刀具切削力測量示意圖
第59頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三4、體育動態(tài)測量中應用壓電式縱跳訓練分析裝置測量雙腿跳的動態(tài)力壓電式步態(tài)分析跑臺第60頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三5、壓電加速度傳感器加速度計第61頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三5、壓電加速度傳感器第62頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三汽車安全氣囊系統(tǒng)事故性碰撞:點火信號、電點火管、氣體發(fā)生劑、氣體、充氣、彈性體第63頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三6、交通監(jiān)測
將兩根高分子壓電電纜相距若干米,平行埋設于柏油公路的路面下約5cm,可以用來測量車速及汽車的載重量,并根據(jù)存儲在計算機內(nèi)部的檔案數(shù)據(jù),判定汽車的車型。
可以獲取車型分類信息(包括軸數(shù)、軸距、輪距、單雙輪胎)、車速監(jiān)測、收費站地磅、闖紅燈拍照、停車區(qū)域監(jiān)控、交通數(shù)據(jù)信息采集(道路監(jiān)控)及機場滑行道等。第64頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三7、壓電式玻璃破碎報警器
將高分子壓電測振薄膜粘貼在玻璃上,可以感受到玻璃破碎時會發(fā)出的振動,并將電壓信號傳送給集中報警系統(tǒng)。
粘貼位置使用時,用瞬干膠將其粘貼在玻璃上。當玻璃遭暴力打碎的瞬間,壓電薄膜感受到劇烈振動,表面產(chǎn)生電荷Q
,在兩個輸出引腳之間產(chǎn)生窄脈沖報警信號。第65頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三廣泛用于文物保管、貴重商品保管及其它商品柜臺保管等場合。第66頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三
使用時傳感器用膠粘貼在玻璃上,然后通過電纜和報警電路相連。為了提高報警器的靈敏度,信號經(jīng)放大后,需經(jīng)帶通濾波器進行濾波,要求它對選定的頻譜通帶的衰減要小,而頻帶外衰減要盡量大。由于玻璃振動的波長在音頻和超聲波的范圍內(nèi),這就使濾波器成為電路中的關鍵。只有當傳感器輸出信號高于設定的閾值時,才會輸出報警信號,驅(qū)動報警執(zhí)行機構工作。第67頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三8、壓電式聲傳感器壓電陶瓷換能器結(jié)構圖
當交變信號加在壓電陶瓷片兩端面時,由于壓電陶瓷的逆壓電效應,陶瓷片會在電極方向產(chǎn)生周期性的伸長和縮短。鋁頭螺釘黃銅尾部壓電陶瓷圓環(huán)第68頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三
根據(jù)發(fā)射和接收的相位差隨海洋深度的變化,測量聲速隨深度的分布情況9、壓電式流量計流量顯示輸出信號換能器換能器接收接收發(fā)射發(fā)射利用超聲波在順流方向和逆流方向的傳播速度進行測量。其測量裝置是在管外設置兩個相隔一定距離的收發(fā)兩用壓電超聲換能器,每隔一段時間(如1/100s),發(fā)射和接收互換一次。在順流和逆流的情況下,發(fā)射和接收的相位差與流速成正比。據(jù)這個關系,可精確測定流速。流速與管道橫截面積的乘積等于流量。此流量計可測量各種液體的流速,中壓和低壓氣體的流速,不受該流體的導電率、粘度、密度、腐蝕性以及成分的影響。其準確度可達0.5%,有的可達到0.01%。第69頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三ABO點LALB地面L
如果地面下一均勻的自來水直管道某處O發(fā)生漏水,水漏引起的振動從O點向管道兩端傳播,在管道上A、B兩點放兩只壓電傳感器,由從兩個傳感器接收到的由O點傳來的t0時刻發(fā)出的振動信號所用時間差可計算出LA或LB。10、壓電式傳感器在測漏中的應用第70頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三兩者時間差為Δt=tA-tB=(LA-LB
)/v又L=LA+LB
,所以第71頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三水漏探測儀設計
前放帶通濾波放大低通濾波傳感器B發(fā)送前放帶通濾波放大低通濾波傳感器A主機接收管道第72頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三產(chǎn)品壓力變送器加速度計力傳感器
脈搏計第73頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三第二部分壓磁式傳感器壓磁式測力稱重傳感器車輪傳感器第74頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三2.1基本原理1.壓磁效應:
鐵磁材料在外力作用下,內(nèi)部發(fā)生變形,使各磁疇之間的界限發(fā)生移動,使磁疇磁化強度矢量轉(zhuǎn)動,從而也使磁疇磁化強度發(fā)生相應的變化。這種由于應力使鐵磁材料的磁化強度發(fā)生變化的現(xiàn)象稱為壓磁效應。變換鏈
第75頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三2.鐵磁材料的相對導磁率變化與應力之間的關系壓磁傳感器:用來測量壓力、拉力、彎矩、扭轉(zhuǎn)力(或力矩)
導磁率大小的變化與受力方向有關:如果產(chǎn)生壓磁效應的作用力是拉力,那么沿作用力方向的導磁率就提高,而在其垂直方向上,導磁率略有降低。反之,該作用力為壓力時,其效果相反。作用力取消后,導磁率復原。鐵磁材料的壓磁效應還與外磁場有關。為了使磁感應強度與應力間有單值的函數(shù)關系,必須使外磁場強度的數(shù)值恒定。
第76頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三鐵磁材料壓磁元件可采用的材料有硅鋼片、坡莫合金和一些鐵氧體。坡莫合金是理想的壓磁材料,它具有很高的相對靈敏度,但價格較貴。鐵氧體也有很高的相對靈敏度,但由于它較脆而不常采用。在壓磁式傳感感器中大多采用硅鋼片,雖然靈敏度比坡莫合金低一些,但在許多實際應用中已經(jīng)可以滿足要求。第77頁,講稿共85頁,2023年5月2日,星期三2.2壓磁元件四孔圓弧型沖片
為了減小渦流損耗,壓磁元件的鐵心大都采用薄片的鐵磁材料疊合而成。沖片形狀大致上有四種:
它是一個矩形削去四角,這是為了在沖孔部位得到較大的壓應力,從而提高傳感器的靈敏度。這種沖片適用于測量
以下的力
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