ICS77.150.99

H63

中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YST1142—2016

釩蒸發(fā)料

Evaporatedvanadiummaterial

2016-07-11發(fā)布2017-01-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布

中華人民共和國(guó)有色金屬

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

釩蒸發(fā)料

YS/T1142—2016

*

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號(hào)

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號(hào)

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20175

*

書號(hào)

:155066·2-31621

版權(quán)專有侵權(quán)必究

YST1142—2016

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位有研億金新材料有限公司

:。

本標(biāo)準(zhǔn)參加起草單位北京有色金屬研究總院

:。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人張濤張巧霞陳明徐國(guó)進(jìn)張殿凱張玉利賈存鋒賀昕王興權(quán)龐欣呂超

:、、、、、、、、、、、

章程

。

Ⅰ

YST1142—2016

釩蒸發(fā)料

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了釩蒸發(fā)料的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存及質(zhì)量證明書與合同

、、、、、

或訂貨單內(nèi)容

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)用的釩蒸發(fā)料

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第部分按接收質(zhì)量限檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃

GB/T2828.11:(AQL)

3要求

3.1產(chǎn)品分類

3.1.1產(chǎn)品按照純度分為–兩個(gè)牌號(hào)

IC-V99.9、ICV99.95。

3.1.2產(chǎn)品主要分為片狀和柱狀如圖所示

,1。

說明

:

A邊長(zhǎng)

———;

B邊長(zhǎng)

———;

C厚度

———;

D直徑

———;

L長(zhǎng)度

———。

圖1釩蒸發(fā)料示意圖

3.2化學(xué)成分

產(chǎn)品的化學(xué)成分要求見表產(chǎn)品中釩的含量按照減量法計(jì)算即減去表中規(guī)定的雜質(zhì)實(shí)測(cè)

1。,100%

總和而得需方對(duì)某種特定雜質(zhì)元素含量有要求時(shí)由