ICS31030

L90.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T37406—2019

電子封裝用球形二氧化硅微粉球形度的

檢測方法顆粒動態(tài)光電投影法

Detectionmethodofdegreeofsphericityofsphericalsilicaforelectronic

packaging—Particledynamicphotoelectricprojectionmethod

2019-05-10發(fā)布2019-12-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

中華人民共和國

國家標(biāo)準(zhǔn)

電子封裝用球形二氧化硅微粉球形度的

檢測方法顆粒動態(tài)光電投影法

GB/T37406—2019

*

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20194

*

書號

:155066·1-62411

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T37406—2019

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位江蘇聯(lián)瑞新材料股份有限公司國家硅材料深加工產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心漢高

:、、

華威電子連云港有限公司

()。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人曹家凱呂福發(fā)阮建軍王松憲姜兵封麗娟李冰陳進(jìn)夏永生戴春明

:、、、、、、、、、、

馬濤

。

Ⅰ

GB/T37406—2019

電子封裝用球形二氧化硅微粉球形度的

檢測方法顆粒動態(tài)光電投影法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子封裝用球形二氧化硅微粉顆粒球形度平均球形度及球形度分布的顆粒動態(tài)光

、

電投影測試方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于的電子封裝用球形二氧化硅微粉球形顆粒

4μm~300μm。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

化工產(chǎn)品采樣總則

GB/T6678

分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法

GB/T6682

檢測和校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室能力的通用要求

GB/T15481

粒度分析圖像分析法第部分動態(tài)圖像分析法

ISO13322-22:(Particlesizeanalysis—Image

analysismethods—Part2:Dynamicimageanalysismethods)

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

31

.

球形度degreeofsphericity

單個粒子平面投影圖像接近標(biāo)準(zhǔn)圓形的程度

。

32

.

平均球形度averagedegreeofsphericity

所有顆粒球形度的平均值反映所有顆粒接近球形的程度

,。

33

.

球形度分布distributionofsphericitydegree

某一球形度數(shù)值范圍的顆粒數(shù)占全部已測試樣品顆?？倲?shù)的百分比情況可以得到測試樣品的球

,

形度分布包括球形度頻率分布上累積分布下累積分布等

,、、。

4方法原理

顆粒動態(tài)光電投影法原理見制備好的樣品置于樣品分散池中利用鞘流技術(shù)讓樣

(ISO13322-2):,

品顆粒逐個緩慢通過樣品池利用光路系統(tǒng)中的顯微鏡投影機(jī)投射得到清晰的顆粒圖像短時間內(nèi)可

,,(

測量很多顆粒然后通過圖像采集計算得出顆粒平面圖像的面積周長然后計算出球形度平均球形

)