標準解讀
《GB/T 36656-2018 電子級三乙基鎵》是一項國家標準,該標準主要針對用于半導體工業(yè)中的高純度三乙基鎵材料進行了規(guī)定。三乙基鎵作為一種重要的金屬有機化合物,在制造發(fā)光二極管(LED)、激光器以及其他光電設備時作為原料使用。
根據(jù)該標準文件,其內(nèi)容涵蓋了產(chǎn)品的技術要求、測試方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和儲存等方面的要求。其中,技術要求部分詳細描述了電子級三乙基鎵應達到的純度水平及其他物理化學性質(zhì)指標;測試方法章節(jié)則提供了驗證這些性能參數(shù)的具體實驗步驟與條件;而檢驗規(guī)則則明確了產(chǎn)品出廠前需遵循的質(zhì)量控制流程。
此外,《GB/T 36656-2018 電子級三乙基鎵》還特別強調(diào)了對于此類化學品在包裝、標識上的特殊要求,以確保其安全性及便于識別,并且對如何正確地進行儲存與運輸也給出了指導性意見,旨在減少因不當處理而導致的安全風險或品質(zhì)下降問題。
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....
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2018-09-17 頒布
- 2019-01-01 實施




文檔簡介
ICS7110020
G86..
中華人民共和國國家標準
GB/T36656—2018
電子級三乙基鎵
Electronicgradetriethylgallium
2018-09-17發(fā)布2019-01-01實施
國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布
中國國家標準化管理委員會
中華人民共和國
國家標準
電子級三乙基鎵
GB/T36656—2018
*
中國標準出版社出版發(fā)行
北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號
2(100029)
北京市西城區(qū)三里河北街號
16(100045)
網(wǎng)址
:
服務熱線
:400-168-0010
年月第一版
20189
*
書號
:155066·1-61409
版權專有侵權必究
GB/T36656—2018
前言
本標準按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口
(SAC/TC203)。
本標準起草單位江蘇南大光電材料股份有限公司中國電子技術標準化研究院
:、。
本標準主要起草人陳化冰孫明璐王香曹可慰
:、、、。
Ⅰ
GB/T36656—2018
電子級三乙基鎵
1范圍
本標準規(guī)定了三乙基鎵的技術要求試驗方法檢驗規(guī)則包裝標志運輸儲存和安全
、、、、、、。
本標準適用于鎵鎂合金法三氯化鎵法格式試劑法三種化學合成法制備并經(jīng)精制純化的三乙基
、、
鎵該產(chǎn)品主要用于生長化合物半導體薄膜材料等
。。
分子式
:C6H15Ga
相對分子質(zhì)量按年國際相對原子質(zhì)量計算
:156.91(2013)
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
危險貨物包裝標志
GB190
工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則
GB/T3723
液體化工產(chǎn)品采樣通則
GB/T6680
電子級水
GB/T11446.1
危險貨物運輸包裝通用技術條件
GB12463
化學品安全標簽編寫規(guī)定
GB15258
常用化學危險品貯存通則
GB15603
潔凈廠房設計規(guī)范
GB50073
3技術要求
三乙基鎵的技術指標應符合表要求
1。
表1技術指標
項目指標
三乙基鎵純度質(zhì)量分數(shù)-2
(C6H15Ga)()/10≥99.99995
銀含量
(Ag)/(μg/g)<0.2
鋁含量
(Al)/(μg/g)<0.5
砷含量
(As)/(g/g)<0.5
金屬元素μ
硼含量
及其他元(B)/(μg/g)<0.4
鋇含量
素含量(Ba)/(μg/g)<0.1
鈹含量
(Be)/(μg/g)<0.02
鉍含量
(Bi)/(μg/g)<
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