ICS7104040

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T35315—2017

LED行業(yè)用氨氣處理指南

GuideforammoniaeffluenthandlinginLEDindustry

2017-12-29發(fā)布2018-04-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T35315—2017

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位蘇州金宏氣體股份有限公司西南化工研究設計院有限公司高麥儀器公司廣東

:、、、

華特氣體股份有限公司東莞市技頂電子科技有限公司上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司中昊光明化

、、、

工研究設計院有限公司

。

本標準主要起草人孫猛金向華牛艷東傅鑄紅杜漢盛張曉東郭秀麗方華周鵬云

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T35315—2017

LED行業(yè)用氨氣處理指南

1范圍

本標準規(guī)定了用水吸收法處理行業(yè)用氨氣尾氣的技術(shù)要求

LED。

本標準適用于行業(yè)用氨氣尾氣的處理

LED。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

建筑設計防火規(guī)范

GB50016

動力機器基礎設計規(guī)范

GB50040

工業(yè)企業(yè)噪聲控制設計規(guī)范

GB/T50087

工業(yè)企業(yè)總平面設計規(guī)范

GB50187

化工企業(yè)總圖運輸設計規(guī)范

GB50489

固定式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程

TSG21

特種設備質(zhì)量監(jiān)督與安全監(jiān)察規(guī)定

特種設備安全監(jiān)察條例

3縮略語

下列縮略語適用于本文件

。

發(fā)光二極管

LED:(LightEmittingDiode)。

金屬有機化學氣相沉積

MOCVD:(Metal-OrganicChemicalVaporDeposition)。

4總體要求

41行業(yè)用氨氣的處理技術(shù)應滿足國家對安全環(huán)保和職業(yè)衛(wèi)生等方面的要求同時應滿足處

.LED,、,

理工藝技術(shù)要求

。

42行業(yè)用氨氣處理工藝的設計建設應采取有效的隔聲消聲綠化等降低噪聲的措施噪聲和

.LED、、、,

振動控制的設計應符合和的規(guī)定

GB/T50087GB50040。

43處理技術(shù)應采取必要的措施保證廢氣廢液固體廢物等廢棄物的處理處置符合相應標準的要求

.,、、。

44處理工藝的總平面布置按和的規(guī)定執(zhí)行

.GB50016、GB50187GB50489。

45處理工藝的設備應符合特種設備質(zhì)量監(jiān)督與安全監(jiān)察規(guī)定特種設備安全監(jiān)察條例

.TSG21、《》、《》

的相關(guān)規(guī)定

。

5工藝流程

51工藝流程圖

.

行業(yè)用氨氣處理工藝應由氨氣尾氣收集系統(tǒng)氨氣吸收系統(tǒng)中和吸收系統(tǒng)