ICS31200

L55.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34899—2017

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

基于拉曼光譜法的微結(jié)構(gòu)

表面應(yīng)力測(cè)試方法

Micro-electromechanicalsystemtechnology—

MeasuringmethodofmicrostructuresurfacestressbasedonRamanspectroscopy

2017-11-01發(fā)布2018-05-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T34899—2017

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

應(yīng)力測(cè)試原理

4……………1

測(cè)試條件

5…………………2

總則

5.1…………………2

樣品要求

5.2……………2

校準(zhǔn)要求

5.3……………2

環(huán)境條件

5.4……………2

測(cè)試系統(tǒng)

5.5……………2

測(cè)試規(guī)程

6…………………4

校準(zhǔn)拉曼光譜儀

6.1……………………4

測(cè)試系統(tǒng)誤差

6.2………………………4

選擇測(cè)試區(qū)域

6.3………………………4

測(cè)試步驟

6.4……………4

測(cè)試記錄

6.5……………6

拉曼頻移的確定

6.6……………………6

應(yīng)力計(jì)算

6.7……………6

附錄資料性附錄立方晶系的應(yīng)力和拉曼頻移之間的換算關(guān)系

A()…………………7

附錄資料性附錄相對(duì)動(dòng)態(tài)應(yīng)力測(cè)試系統(tǒng)實(shí)例

B()……………………8

附錄資料性附錄微結(jié)構(gòu)表面應(yīng)力拉曼光譜法測(cè)試實(shí)例

C()…………10

GB/T34899—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位中北大學(xué)中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人石云波唐軍程紅兵崔建功李海斌朱悅

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T34899—2017

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

基于拉曼光譜法的微結(jié)構(gòu)

表面應(yīng)力測(cè)試方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了拉曼光譜法測(cè)定微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)表面殘余應(yīng)力相對(duì)靜態(tài)應(yīng)力相對(duì)動(dòng)態(tài)

(MEMS)、、

應(yīng)力的方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)表面殘余應(yīng)力相對(duì)靜態(tài)應(yīng)力相對(duì)動(dòng)態(tài)應(yīng)力的拉曼光譜

(MEMS)、、

法測(cè)試

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn)概述和指南

GB/T2421.1

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分空氣潔凈度等級(jí)

GB/T25915.11:

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)術(shù)語

GB/T26111(MEMS)

拉曼光譜儀校準(zhǔn)規(guī)范計(jì)量特性和校準(zhǔn)要求

JJF1544—2015

3術(shù)語和定義

和界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T26111JJF1544—2015。

31

.

波數(shù)wavenumber

波長(zhǎng)的倒數(shù)即每厘米內(nèi)包含的波長(zhǎng)數(shù)目

,。

注單位為每厘米-1

:(cm)。

4應(yīng)力測(cè)試原理

拉曼光譜法應(yīng)力測(cè)試是根據(jù)拉曼散射測(cè)出的拉曼頻移來計(jì)算材料表面應(yīng)力的方法

。

結(jié)構(gòu)表面在應(yīng)力作用下晶格會(huì)發(fā)生形變從而對(duì)入射光造成散射導(dǎo)致了拉曼頻移的產(chǎn)生根據(jù)

,,,。

拉曼頻移的大小可以計(jì)算出應(yīng)力的數(shù)值結(jié)構(gòu)表面應(yīng)力與拉曼頻移之間具有線性關(guān)系見式

。