CS37.020N33中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB7667-—2003電子顯微鏡X射線泄漏劑量ThedoseofX-raysleakagefromelectronmicroscope2003-11-20發(fā)布2004-05-01實(shí)施華人民共和國中發(fā)布國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

GB7667—2003前本標(biāo)準(zhǔn)的全部技術(shù)內(nèi)容為強(qiáng)制性的.本標(biāo)準(zhǔn)是對GB7667一1996《電子顯微鏡X射線泄漏劑量》的修訂。修訂時增加了前言：在3.1“試驗(yàn)設(shè)備”條款中增加了對試驗(yàn)設(shè)備必須經(jīng)過法定計量部門計量并取得合格證書才能使用的要求.本標(biāo)準(zhǔn)由中國機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國光學(xué)和光學(xué)儀器標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會（CSBTS/TC103)歸口本標(biāo)準(zhǔn)由上海電子光學(xué)技術(shù)研究所負(fù)責(zé)起草。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：-GB7667-1987、GB7667-1996。

GB7667—2003電子顯微鏡X射線泄漏劑量范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子顯微鏡(以下簡稱電鏡)X射線泄漏劑量、試驗(yàn)方法及檢驗(yàn)規(guī)則本標(biāo)準(zhǔn)適用于透射、掃描、反射掃描和電子探針等不同類型的電鏡。2要求電鏡X射線泄漏的空氣吸收劑量率不應(yīng)大于2.5″Gy/h.試驗(yàn)方法91試驗(yàn)設(shè)備帶有修正因子(指校正X射線)X射線劑量率儀，其等級為二級。最小擋刻度值不能大于1Gy/h用于檢測的X射線劑量率儀必須經(jīng)過法定計量部門的計量檢定，并取得合格證書。有效期內(nèi)的檢測儀器經(jīng)可能涉及計量精度的重大維修后，必須重新進(jìn)行計量檢定。3.2試驗(yàn)程序3.2.1將試驗(yàn)電鏡加速電壓調(diào)到最高擋，選用最大正常工作柬流和最大束斑3.2.2將聚光鏡調(diào)整到正常工作狀態(tài)，放大倍率調(diào)到最低擋.并將活動光闌全部退出。對掃描電鏡和電子探針等則應(yīng)以鴿為樣品將吸收電流調(diào)到最大值。3.2.3試驗(yàn)部位為照相室、觀察室、樣品室、活動光闌、電子槍(電鏡加速電壓等于或大于400kV的電子槍被測部位指隔離層)、真空管道、顯像管、鏡簡及其附屬裝置。在試驗(yàn)樣品室以上的部位時,則應(yīng)將物鏡活動光闌插入電子束通道。3.2.4將X射線劑量率僅在離開試