1、ISO14644-1-潔凈室及相關(guān)控制環(huán)境國際標(biāo)準(zhǔn)潔凈室及相關(guān)控制環(huán)境國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644前言ISO 為全球各國標(biāo)準(zhǔn)化團(tuán)體（ ISO 會員團(tuán) 體）的聯(lián)合會。其國際標(biāo)準(zhǔn)工作一般是由 ISO 各技術(shù)委員會執(zhí)行。 每個會員團(tuán)體若對技術(shù)委員 會的某一課題感興趣， 均有權(quán)作為此技術(shù)委員會 的代表。任何與 ISO 保持聯(lián)系的國際組織，無 論是政府的還是非政府的組織， 同樣可參加此項(xiàng) 工作。 ISO 與國際電氣技術(shù)委員會（ IEC ）在電 氣技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化方面進(jìn)行緊密合作。國際標(biāo)準(zhǔn)草案由其技術(shù)委員會認(rèn)可后送各會 員團(tuán)體進(jìn)行傳閱， 以待表決。 草案作為國際標(biāo)準(zhǔn) 頒布至少需要 75% 的會員團(tuán)體投贊成票。國際標(biāo)

2、準(zhǔn) ISO 14644-1由 ISO/TC209 潔凈室 及相關(guān)受控環(huán)境技術(shù)委員會提出。ISO 14644 在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 的總標(biāo) 題下，由下述各部分組成：第 1 部分：空氣潔凈度等級劃分第 2 部分：為認(rèn)證與 ISO 14644-1 連續(xù)的 相符性的測試和監(jiān)測技術(shù)要求第 3 部分：計(jì)量和測試方法 第 4 部分：設(shè)計(jì)、施工和啟動 第 5 部分：運(yùn)行第 6 部分：術(shù)語和定義第 7 部分：增強(qiáng)的潔凈裝置用戶應(yīng)注意，第 2 至第 7 部分的標(biāo)題為第 1 部分發(fā)行時(shí)的工作標(biāo)題。 如果從工作計(jì)劃中刪除 了一部分或幾部分，剩余部分可以重新編寫。附錄 B 和 C 為 ISO 14644 的組成部分，

3、附錄 A、D、E 和 F 僅作資料用。引言潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境保證空氣中懸浮粒子被 控制在合適的級別，以確保完成對污染敏感的有關(guān) 活動。以下行業(yè)的產(chǎn)品和工藝均得益于空氣中懸浮 污染物的控制：航天、微電子、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、 食品和保健品。ISO 14644 的本部分指定 ISO 分級的各級別， 以此作為潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的 技術(shù)要求。本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測試 的程序，而且確定了測試的標(biāo)準(zhǔn)方法。為劃分等級， ISO 14644 的本部分僅限于確 定粒子濃度限值用的指定的粒徑范圍。 本部分還提 供了標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議，以依據(jù)大于或小于指定分級用粒徑 范圍的懸浮粒子濃度等級標(biāo)識。ISO

4、14644 的本部分為潔凈室和污染控制系 列標(biāo)準(zhǔn)中的一個標(biāo)準(zhǔn)。 除懸浮粒子潔凈度之外， 還 有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設(shè)計(jì)、 技 術(shù)要求、運(yùn)行和控制中予以考慮。這些內(nèi)容在 IS O/TC209 技術(shù)委員會制定的其它國際標(biāo)準(zhǔn)中有詳細(xì)論述。在某些情況下，有關(guān)管理機(jī)構(gòu)可能會規(guī)定動 作一些補(bǔ)充的政策或限制。這就可能要求對標(biāo)準(zhǔn)的 測試程序作適當(dāng)?shù)男薷摹? 定義下述定義適用于 ISO 14644 的本部分 2.1 通則 2. 1.房間的建設(shè)和 產(chǎn)生和滯留粒子 度和壓力按要求進(jìn)行控制 2.1 潔凈使室，用:空方室氣式內(nèi)懸要其浮盡它粒可相子能關(guān)濃減參度少數(shù)受室如控溫度、。房入間、濕間1的. 建2 潔

5、設(shè)凈和使區(qū)用:懸方浮式粒要子盡濃可度能受減控少的區(qū)限內(nèi)定引空入間、。 產(chǎn)生和滯留粒子，空間內(nèi)其它相關(guān)參數(shù)如溫度、潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第 1 部分： 空氣潔凈度的分級1 范圍ISO 14644 的本部分是根據(jù)空氣中懸浮粒子 濃度來劃分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈 度的等級。只有在 0.1 m-5m 的閾值（低于 閾值）粒徑范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群體才可供 分級用。ISO 14644 的本部分不包含 0.1m-5m 規(guī) 定粒徑范圍以外的粒子群體的分級。超微粒子 （ 0.1m ）和大粒子（ 5m）可分別以 U描述符和 M 描述符來量化粒子群體ISO 14644 的本部分不能用于表征懸浮粒子 的物理

6、性、化學(xué)性、放射性或生存性。注 粒徑遵紀(jì)守法增范圍內(nèi)粒子濃度的實(shí) 際分布情況通常是不可預(yù)測的， 并且是隨著時(shí)間 而變化的。注 學(xué)直徑 2. 2. 數(shù)。 2. 2.4 累積分布 2. 2. 5 子。2. 2. 6 大粒子:當(dāng)量直徑大于 5m 的粒子2. 2. 7 纖維:長寬比等于或大于 10 的粒子濕度和壓力按要求進(jìn)行控制。 注：該區(qū)可以是開放式或是密閉式，可以位 于或不位于潔凈室內(nèi)。2. 1. 3 設(shè)施 :潔凈室或一個或多個潔凈區(qū)， 連同 所有相關(guān)的構(gòu)筑物、 空氣處理系統(tǒng)、 動力和公用 設(shè)施。2. 1. 4 分級 :適用于一個的懸浮粒子潔凈度等 級（或規(guī)定或確定該等級的過程） ，以 ISO 等

7、級 N 來表示，它表示所考慮的粒徑的最大允許濃度 （以 pc/m3 空氣計(jì)）。注 1 此濃度用 3.2 中的公式（ 1）確定。注 2 按照本國際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分級，限定在 IS O 1 級至 ISO 9 級。注 3 適用于按本國際標(biāo)準(zhǔn)分級的粒徑（低閾 值）范圍限于 0.1 m-5 m。分級范圍之外 的閾值粒徑之空氣 潔凈度可以用 U 或 M 描 述符（見 2.3.1 或 2.3.2）來說明和規(guī)定（但 不是分級）。注 4 ISO 分級可以規(guī)定中間等級號， 用最小 允許遞增值 0.1，規(guī)定為自 ISO 1.1至 8.9級。注 5 等級可以按 3 種占用狀態(tài) （見 2.4）規(guī)定 或?qū)崿F(xiàn)。2.2懸浮粒子2.

8、 2. 1 粒子 :用于空氣潔凈度分級的固體或液 體物，其粒徑閾值 （低限）范圍在 0.1 m-5m， 并呈累積分布2. 2. 2 粒徑 :由給定的粒徑測定儀響應(yīng)出 （與被 測粒子作出的響應(yīng)當(dāng)量）的球體的直徑。離散粒子計(jì)數(shù)和光散射儀器使用當(dāng)量光 粒子濃度 :單位體積空氣中的單個粒子 粒徑分布 : 作為粒徑函數(shù)的粒子濃度之 超微粒子 :當(dāng)量直徑小于 0.1 m 的粒2. 4. 1空態(tài) :設(shè)備施、已材經(jīng)料建或成人，員所在有場動。力接通并運(yùn)2. 4. 2靜態(tài) :設(shè)施已經(jīng)建人員在場。2.3描述符22超. 3微 3粒. 描子1 述的U符濃描度述以符:測pc得/m或3規(guī)空定氣的計(jì)粒. 子濃度， 即含 （注

9、或置信U上描限述，符取可決認(rèn)于為用是于采確樣定點(diǎn)潔平凈均室值或的潔上凈限區(qū) 特性的采樣點(diǎn)數(shù)目）不能用 U 描述符來定義且 懸浮粒子潔凈度等級， 但可以單獨(dú)引用或與懸浮 粒子潔凈度等級一起引用。2. 3. 2M 描述符 :測得或規(guī)定的每 m3 空氣中大 粒子的濃度，以作為所用測試方法特性的當(dāng)量直 徑來表示注 M 描述符可認(rèn)為是采樣點(diǎn)平均值的上限 （或置信上限，取決于用于確定潔凈室或潔凈區(qū) 特性的采樣點(diǎn)數(shù)目）不能用 M 描述符來定義懸 浮粒子潔凈度等級， 但可以單獨(dú)引用或與懸浮粒 子潔凈度等級一起引用2.4占用狀態(tài) 行，但無生產(chǎn)設(shè) 2好. ，4并. 以2靜用態(tài)戶和:設(shè)供施應(yīng)已商經(jīng)同建意成的，方生式

10、產(chǎn)運(yùn)設(shè)行備，已經(jīng)但安沒裝有 。2. 4. 3動態(tài) :設(shè)施以規(guī)定的方式運(yùn)行， 有規(guī)定數(shù) 目的人員在場，并以雙方同意的方式進(jìn)行工作。 表 1 潔凈室及潔凈區(qū)選列的懸浮粒子潔凈度大公 最的 的中 徑 3.2 慮的限值值按 被濃度度限 中濃濃 表氣 于空 等3 或 /m 于 pc 大 p（等數(shù)） ISO級序N（0.10.2計(jì).30）5.0m 1m 5SOm01assSO012014Class 2ISO13221538。對適“用空于態(tài)新”建的成測的試或完新成ISO Class 41000023701 02035283ISO Class 510000023700102003 52083229ISOClas

11、s 61000000237000102000352008 320 293ISOClass 7352000832002 930ISOClass 83 52000083200029300ISOClass 9352000008 320000293000注：由個于有涉效及的測數(shù)量據(jù)過來程確的定不濃確度定等性級，水幫要求用三 平。2.5角色2. 5. 1 用戶 :負(fù)責(zé)規(guī)定潔凈室或潔凈區(qū)的要求 的組織或其代理。2. 5. 2 供應(yīng)商 : 被聘用來滿足規(guī)定的潔凈室或 潔凈區(qū)的要求的組織。3 等級3.1 占用狀態(tài) : 潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)空氣的粒子 潔凈度應(yīng)按“空態(tài)”、“靜態(tài)”和“動態(tài)”三種占 用狀態(tài)中的一種或三

12、種（見 2.4）進(jìn)行定義 注 應(yīng)認(rèn)識到“空態(tài)”適用于新建成的或 發(fā)行的潔凈室或潔凈區(qū)。對“空態(tài)”的測試完成 后，即應(yīng)進(jìn)一步測試“靜態(tài)”或“動態(tài)”或兩種 狀態(tài)。3.2 等級級別 :空氣中懸浮粒子潔凈度以等級 序數(shù) N 命名。各種被考慮粒徑 D 的粒子 Cn 的最大允許濃度用下述公式確定：式（中1），C允n許 濃度大（于p或c/等m3于空被氣考）慮。粒 位四舍五入到最靠近的整數(shù)N等 級級IS別O N等之級間級的別中，最大不超過 9。ISO 為一常（數(shù)，表m示）以計(jì)微的被選粒徑 示于的表是中被所選考擇慮的粒懸徑浮的度所限選值的等。級圖于。A表在.1中有（所爭見議考附的慮錄粒情A況徑）下的以，圖從解公

13、形式式（表示出 中得到的濃度 Cn 應(yīng)作為標(biāo)準(zhǔn)值。3. 潔3 凈室命或名潔凈區(qū)的懸浮粒子潔凈度的命名 應(yīng)包括： 應(yīng)包a括）：等c） 按N等 IS 允許遞增值進(jìn)行規(guī)定 D 以微米 0.1 量綱。表 1 表示的是徑Cn。為3可以按 0.1 為最小m）計(jì)的1）b） 分組時(shí)別的，占以用“狀態(tài)IS：O Class N”表示：b） 分組時(shí)的占用的狀1閾）態(tài)值測：均定在的被考0.慮1粒m徑-5，各m 范圍內(nèi)。命名實(shí)例：ISO Class 4：動態(tài)：被考慮粒徑： 0.2 m （2370pc/m3），1m（83pc/m3） 測量濃度的被考慮粒徑應(yīng)得到用戶和供應(yīng) 商雙方的同意。如果測量一個以上的被考慮粒徑，各較大

14、的粒徑（如 D2）應(yīng)至少為下一個較小粒徑 （如測原試則程:通序過，執(zhí)并行提用供戶關(guān)和于供測應(yīng)試商條雙件方和同測試同意的結(jié)告凈室形命式或名提潔等交凈級，區(qū)。的并測說試明結(jié)是果否D1）的 1.5 倍。即： D2 1.5 D14 相符性認(rèn)證4. 1 指定的測試程序， 果的規(guī)定文件， 認(rèn)證是否符合用戶規(guī)定的空氣潔 凈度（ ISO class）要求。4. 2 測試 :附錄 B 中給出了認(rèn)證相符性的基準(zhǔn) 測試方法。也可以規(guī)定其它有類似準(zhǔn)確性的方 法，如果沒有就其它方法作出規(guī)定或達(dá)成一致意 見，則應(yīng)該用基準(zhǔn)方法。 應(yīng)采用經(jīng)過校舍準(zhǔn)的食 品進(jìn)行相符性認(rèn)證測試。4附. 錄3 C懸中浮的粒公子式濃計(jì)度算限平值均:

15、粒按子4濃.2度完和成測試95后%，置信按 上限（適用情況下） 。按公式（C.1）計(jì)算出的平均粒子濃度不應(yīng)超 過用 3.2 中公式（ 1）確定的濃度限值，其被考 慮粒很應(yīng)符合 3.3 c的規(guī)定。此外，如果采樣點(diǎn)數(shù)目至少為 2 個，但不超 過 9 個，則按 C.3 計(jì)算的 95% 置信上限不應(yīng)超 過上面確定的濃度限值。注 附錄 D 中給出等級計(jì)算的工作實(shí)例。 對于各種被考慮粒徑應(yīng)用相同方法來測定， 用于認(rèn)證等級粒子濃度限值具有一致性。 4均. 應(yīng)4記 錄測，試應(yīng)報(bào)以告綜:各合報(bào)潔凈 符合規(guī)定的是浮粒子潔凈度 測試報(bào)告應(yīng)包括下述各a） 測試組織的名稱、 地址和進(jìn)行測試的日期；ISO 14644 本

16、部分的出版編號和年代， 即 14644-1：當(dāng)前版日期； 14明6置確44（標(biāo)-1必明要被時(shí)測包潔括凈臨室近或的潔參凈照區(qū)區(qū)的）實(shí)及際所位 有采樣 點(diǎn)坐標(biāo)的具體標(biāo)注； 規(guī)定的對潔凈室或潔凈區(qū)命名準(zhǔn)則， 包 括 ISO 等級、相關(guān)的占用狀態(tài)和被考 慮粒徑；d）b）ISOc）e) 測試方法的詳細(xì)說明，包括與測試有關(guān) 的或偏離測試方法的特殊條件，及測 試食品合格證和最近的標(biāo)定證書； f ) 測試結(jié)果，含各采樣點(diǎn)坐標(biāo)的粒子濃度 數(shù)據(jù)。注 如果超微粒子或大粒子的濃度已經(jīng)按 附錄 E 的說明進(jìn)行了量化， 適當(dāng)?shù)馁Y料應(yīng)包 含在測試報(bào)告中。附錄 A(資料)表 1 中等級的圖解形式氣）。因此1）確圖示的等級線不

17、可外推超過實(shí)心圓符號注 1 Cn 表示大于和等于被考慮粒徑的懸浮粒 子最大允許濃度（ pc/m3 空氣）。 注 2N 表示規(guī)定的 ISO 等級級別圖 A.1 為圖解形式說明表 1 中的空氣潔凈度 等級，僅供演示用。表 1 中的 ISO 待批等級在 此用線條表示出該等級的被考慮閾值粒徑的濃 度限值，其依據(jù)是用 3.2 中公式（ 1）進(jìn)行的計(jì) 算。由于線條表示的僅是近似的等級限值， 不得用于定義限值。限值只能按照公式（ 定 心圓符號是所示各 ISO 等級認(rèn)可的最大和最小 粒徑限值。等級線不代表在潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)呈現(xiàn)的 實(shí)際粒徑分布。附錄 B（標(biāo)準(zhǔn)部分） 采用離散粒子計(jì)數(shù)和光散射儀器確定微粒潔凈 度

18、的等級B1 原理 使用離散粒子計(jì)數(shù)和光散射儀器確定在 指定的采樣點(diǎn)上大于或等于規(guī)定粒徑的懸浮粒 子的濃度。B2 儀器要求B21 粒子計(jì)數(shù)儀離散粒子計(jì)數(shù)器（ DPC ）是一種光散射裝 置，具有顯示或記錄空氣中離散粒子的數(shù)目和粒 徑的能力和粒徑鑒別能力， 可檢測到被測級別之 適當(dāng)粒徑范圍內(nèi)的總粒子濃度， 以及適當(dāng)?shù)牟蓸?系統(tǒng)。B22 儀器標(biāo)定 儀器應(yīng)該有有效的標(biāo)定證書；標(biāo)定的頻率 和方法應(yīng)按現(xiàn)行公認(rèn)的規(guī)定執(zhí)行。B3 預(yù)測試條件B31 測試準(zhǔn)備 測試前，應(yīng)按照技術(shù)性能要求認(rèn)證潔凈室 或潔凈區(qū)作為一個運(yùn)行的整體， 是完整的、 功能 是正常的。預(yù)測試工作一般包括：a）空氣流量或流速測試；b）空氣壓差測試

19、；c）圍護(hù)結(jié)構(gòu)泄漏測試；d）裝好的過濾器泄漏測試。B32 預(yù)測試設(shè)備配置 按照制造廠的說明書進(jìn)行設(shè)備配置和儀器 的預(yù)測試標(biāo)定。B4 采樣B41 確定采樣點(diǎn)位置B411按公式（ B.1）求出最少的采樣點(diǎn)數(shù)目：B.1)式中，NL 最少采樣點(diǎn)數(shù)（四舍五入為整數(shù)） 。 A 潔凈室或潔凈區(qū)的面積，以計(jì)。注 在水平單向?qū)恿鲿r(shí)，面積 A 可以看作 是與氣流方向呈垂直流動的空氣的截面積。 B412 要保證采樣點(diǎn)均勻分布于整個潔凈 室或潔凈區(qū)內(nèi)，并位于工作活動的高度。如果用戶規(guī)定增加采樣點(diǎn)，其數(shù)目和位置 也應(yīng)作出規(guī)定。注 增加的采樣點(diǎn)可認(rèn)為是風(fēng)險(xiǎn)分析的關(guān)鍵。 B42 確定各采樣點(diǎn)的每次采樣量 B42 1 指定的

20、 ISO 等級如最大被考慮粒 徑的粒子濃度的限值時(shí)， 在每個采樣點(diǎn)要采集足 夠的空氣量，保證能檢測出至少 20 個粒子。每個采樣點(diǎn)的每次采樣量 VS 用下式確定：（B.2）式中，VS 每個采樣點(diǎn)每次最少采樣量， 用升表示（ B4 2 2 中的情況除外）。Cn， m 為相關(guān)等級規(guī)定的最大被考慮 粒徑之等級限值（ pc/m3 空氣）。20 當(dāng)粒子濃度處于該等級限值 時(shí)，可被檢測到的粒子數(shù)。 注： VS 值很大時(shí)，需要的采樣時(shí)間可能會很長。 利用順序采樣程序（見附錄 F）既可以減少要求 的采樣量，又減少采樣需要的時(shí)間。 B422 每個采樣點(diǎn)的采樣量至少為 2 升， 采樣時(shí)間最少為 1 分鐘。B43

21、采樣程序 B43 1 按照廠家說明書和儀表標(biāo)定證書， 調(diào)定粒子計(jì)數(shù)器（ B.2.1）B43 2 采樣探頭的位置應(yīng)插入空氣流。若 被采樣的氣質(zhì)方向是未受控的或不可預(yù)計(jì)的 （如 非單向流），采樣控頭的入口應(yīng)垂直指向上方。B433 每個采樣點(diǎn)，按 B.4.2確定的最小采 樣量采樣。B43 4 當(dāng)只要求一個采樣點(diǎn)時(shí)（ B.4.1）， 則在該點(diǎn)最少進(jìn)行三次采樣（ B.4.2）。B 5 結(jié)果記錄B51 各采樣點(diǎn)的粒子平均濃度B51 1 把每次采樣測量的結(jié)果與空氣潔凈 度等級相關(guān)的各個被考慮粒徑的濃度（ 3.3）記 錄下來。注 在進(jìn)行 95% 置信上限的計(jì)算之前，應(yīng) B.6.1 的要求。B512 當(dāng)只用一個

22、采樣點(diǎn)時(shí)，計(jì)算并記錄 各被考慮料徑的采樣數(shù)據(jù)平均值（ B434）。 B51 3 當(dāng)在一個采樣點(diǎn)上采集 2 次以上采 樣時(shí)， 按照 C.2 中給定的程序， 從每次采樣粒子 濃度（B511）計(jì)算各采樣點(diǎn)被考慮粒徑的 平均粒子濃度，并記錄下結(jié)果。B52 計(jì)算 95%置信上限（ UCL ）的要求 B521 當(dāng)采樣的點(diǎn)多于 1 個，少于 10個 時(shí)，按照 C.3 中給定的程序， 從所有各點(diǎn)的平均 粒子濃度（ B51 ）計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)誤差和 95%置信上限。B522 在采樣點(diǎn)只有 1個，或多于 9個時(shí)， 不用計(jì)算 95% 置信上限。B6 整理B61 分級要求 如果在各采樣點(diǎn)測得的粒子濃度平均值及按 照

23、B52 計(jì)算的 95%置信上限未超過按 3.2 中公式（ 1）確定的濃度限值，該潔凈室或潔 凈區(qū)即被認(rèn)為是達(dá)到了規(guī)定的空氣潔凈度級別。如果測試結(jié)果未能滿足規(guī)定的空氣潔凈度 級別，可增加均勻分布的采樣點(diǎn)進(jìn)行測試。 再次 計(jì)算的結(jié)果， 包括增加的采樣點(diǎn)的數(shù)據(jù)， 判斷確立潔凈度等級。B62 界外值的處理95%置信上限（UCL ）計(jì)算結(jié)果可能沒能滿 足規(guī)定的 ISO 等級。如果是因?yàn)椋ǔ绦蛏系恼` 差或設(shè)備功能不良造成的） 測量差錯或 （由于空 氣異常的潔凈而導(dǎo)致） 異常低的粒子濃度， 而產(chǎn) 生單個的、非隨機(jī)性的“界外值” ，在符合下述 條件的情況下，可以把該界外值排除不計(jì)：a）包括所有其余采樣點(diǎn)的計(jì)算

24、是重復(fù)進(jìn) 行的；b）計(jì)算中至少保留有 3 次測量值；c）計(jì)算中至多只有 1 個測量值排除在外；d）有誤差的測量或粒子濃度低的推測原 因由用戶和供應(yīng)商認(rèn)可，并以文件記錄下來。 注 在采樣點(diǎn)，粒子濃度值的較大差異可能是合 理的，甚至是有意造成的， 這取決于待測潔凈設(shè) 施的應(yīng)用性質(zhì)。附錄 C（標(biāo)準(zhǔn)部分）粒子濃度數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)處理C1 通則 :統(tǒng)計(jì)分析只考慮隨機(jī)誤差（缺乏精 度），不考慮非隨機(jī)誤差（如，與誤差標(biāo)定有關(guān) 的偏差）。C2 計(jì)算某一采樣點(diǎn)的平均粒子濃度（ ）的 算法當(dāng)在一個采樣點(diǎn)進(jìn)行多次采樣時(shí)， 應(yīng)該用公 式（ C.1）來確定該點(diǎn)的平均粒子濃度。平均粒 子濃度的計(jì)算應(yīng)該在采樣次數(shù)為 2 次以上的

25、各 個采樣點(diǎn)進(jìn)行。式中， 采樣點(diǎn) i（代表任何位置）的（平C1） 均粒子濃度（C.采樣點(diǎn)平均值的總均值C.3）式中,Xi，1 至 Xi，n每次采樣的粒子濃度 n 在采樣點(diǎn) i 的采樣次數(shù) C3 計(jì)算 95% 置信上限的算法C31 通則，本方法只適用于采樣點(diǎn)為 1 個 以上， 10 個以下的情況。在這種情況下，應(yīng)該 使用公式（ C 1）的算法和本方法。C3 2 平均值的總均值（ ）用公式（ C2）確定平均值的總（綜合） 平均值2） 式中， 采樣點(diǎn)平均值的總均值至 用公式（ C 1）得出的各個采樣點(diǎn) 的平均值 m采樣點(diǎn)的總數(shù)無論任何一個給定的采樣點(diǎn)的樣品數(shù)是多 少，所胡單個采樣點(diǎn)的平均值都等量加權(quán)

26、。 C3 3 采樣點(diǎn)平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差（ S） 用公式（ C 3）確定采樣點(diǎn)平均值的標(biāo)準(zhǔn) 偏差。S 采樣點(diǎn)平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差C34 總均值的 95%置信上限（ UCL ） 用公式（ C.4）確定總均值的 95%置信上限 （C.4）式中，t（0.9分5布點(diǎn)表）示。具有 m-1 的自由度分布的 95%分布(D.1)表 C.1 中給出了 95%置信上限（ UCL ）的 研究 t 分布系數(shù)（ t0.95）。另外，統(tǒng)計(jì)計(jì)算機(jī)程序 中的學(xué)生 t 分布也是合格的。表 C.1 95%置信上限（ UCL ）的研究 t 的分布 系數(shù)各個平均值的采 樣點(diǎn)數(shù) （m）234567-9t6.3 2.9 2.4 2.1 2.0

27、 1.9附錄 D（資料部分）等級計(jì)算的應(yīng)用實(shí)例D 1 例 1D11被測的潔凈室面積（ A）為 80m2。需要 確定其在動態(tài)下是否符合規(guī)定的懸浮規(guī)定的懸 浮粒子潔凈度等級。 該潔凈室規(guī)定的空氣潔凈度 等級為 ISO Class 5（5 級）。D 12 規(guī)定了 2 個被考慮粒徑： 0.3 m （D1） 和 0.5（D2） ma）2 個粒徑都在 ISO Class 5 的粒徑范圍之內(nèi)， （見 3.3c 和表 1） :0.1 m 0.3 m,0.5 m 5 mb）被考慮的二個粒徑是否符合粒徑比要求， D2 1.5 X D1（見 3.3c）:0.5m（1.5 X 0.3m =0.45 m）, 是符合的。

28、D13 按照公式（ 1）計(jì)算最大允許懸浮粒子 濃度 0.3m（D1）的粒子四舍五入為 10200pc/m3 0.5m (D2)的粒子(D.2)B.1)計(jì)算(見 B.4.四舍五入為 3520 pc/m3D14 采樣點(diǎn)數(shù)按公式1.1)(D.3) 因此，最少采樣點(diǎn)數(shù)為 9 個。由于采樣點(diǎn)數(shù) 少于 10，按附錄 C 計(jì)算 95% 置信上限是適用的。 D15: 單次采樣量 Vs 以升計(jì)，按公式( B.2) 計(jì)算(見 B.4.2.1)(D.4)結(jié)果大于 2L ，選擇的采樣量為 28L/min 的采樣 儀器(離散粒子計(jì)數(shù)和光散射儀器通用的流量) 這一選擇的依據(jù)是：a) Vs 2L( 見 B4.2.2)b)

29、Cn.m 20pc/m3( 見 B.4.2.1)c)采樣時(shí)間 1分鐘(見 B.4.2.2)D 16 在各采樣點(diǎn)，只取一次采樣量( 28 升) ( B.4.2.1)。測量中得到的計(jì)數(shù)記錄如下( B.5.1. 1)。采樣點(diǎn) 粒子數(shù)( 0.3 粒子數(shù)( 采樣點(diǎn) m)0.5m)124521218524359 0D1745678646640692211122253772223按原始數(shù)據(jù)（ D16）計(jì)算粒子 pc/m3，Xi ： 采樣 點(diǎn)1234567893Xi 0.3m875066072107378658577000807180006964Xi 0.5m7508570250786893821132167

30、9和 0.5 m，滿計(jì)足算了出等的級濃的度第值一均部低分于mD13 中確（ B61）要求，因此可以按附錄 C 進(jìn)行 95% 的置信上限的計(jì)算。D18按公式（ C1）計(jì)算平均濃度（見 C2） 是不適用的， 因?yàn)椴杉牧渴菃未尾蓸恿浚?代表 各個點(diǎn)的平均粒子濃度。 平均值的總均值要按公 式（ C2）計(jì)算（見 C32）。 0.3m 的粒子：四舍五入為（6D3.54）9D.6)四舍五入為 706 pc/m3D19 按公式（ C.3）計(jì)算采樣點(diǎn)平均值的標(biāo) 準(zhǔn)誤差（見 C.3.3）。 0.3m 的粒子：四舍五入為 4641259(D.8)四舍五入為 2154 pc/m3D.7)m 的粒子：D.9) 0.5

31、m 的粒子：四舍五入為 145582（D.10）四舍五入為 382pc/m3D110 按公式（ C.4）計(jì)算 95%置信上限 （UCL）（見 C.3.4）.單個平均值采樣點(diǎn)數(shù) m=9,取自表 C.1 中的分布系數(shù) =1.9。D.11)四舍五入為 7713pc/m3四舍（D五.12入） 為948pc/m3D111 按 B.6.1 對結(jié)果進(jìn)行整理。在 D.1.7中 各單次采樣量的粒子濃度低于規(guī)定的等級限值。 在 D.1.10 中，計(jì)算出的 95% 置信上限值同樣低 于在 D.1.3 中規(guī)定的等級限值。因此，該潔凈室的懸浮粒子潔凈度符合要求 的級別。D 2 實(shí)例 2D 21 本示例目的在于證實(shí) 95

32、%UCL 的計(jì)算 對結(jié)果的影響。某一潔凈室規(guī)定懸浮粒子潔凈度為 ISO 3 級，動態(tài)，采樣點(diǎn)數(shù)定為 5 個。由于采樣點(diǎn)數(shù)多 于 1個，少于 10個，應(yīng)按附錄 C 計(jì)算 95%置信 上限。只考慮一種粒徑（ D 0.1m）。D22ISO 3 級，粒徑 0.1 m，從表 1 中取粒子 濃度限值：Cn（ 0.1m）= 1000 pc/m3D23 在各采樣點(diǎn)僅單次采樣，按（ B.5.1.1） 記錄各點(diǎn)的粒子濃度 Xi pc/m3 ，并記錄如下。采樣點(diǎn)Xi 0.1m19262958393749635214D=0.1m 時(shí)各粒子濃度值小于 D.2.2 中確(D.1定的限值。這個結(jié)果滿足了等級的第一部分（ B

33、. 6.1），因此可以按附錄 C 進(jìn)行 95% 置信上限的D24 平均值的總均值要按公式 （C.2）計(jì)算 （見 C.3.2）。3)D誤.2差（5見按公C.式3.3（）：C.3）計(jì)算采樣點(diǎn)平均值的標(biāo)準(zhǔn)D26 按公式（C.4）計(jì)算 95% 置信上限 （UCL）（ 見C.3.4）： 單個平均值 m=5,取自表 C.1 中的分布系數(shù)t=2.1(D.16)D27 各單次采樣量的粒子濃度低于規(guī)定的等 級限值（ D.2.2）。但是，95%置信上限的計(jì)算表明該潔凈室懸 浮粒子潔凈度不符合規(guī)定的級別。本示例說明按 95%UCL 的計(jì)算結(jié)果，一個 單采樣的界外低粒子濃度（即采樣點(diǎn) 5）所造成 的影響。由于空氣潔凈

34、度的等級之不相符性是因采 用了 95%UCL ，并由一個單次采樣的低粒子濃 度造成，可按照 B.6.2 中的程序確定該不相符性 是否可以作廢不計(jì)。附錄 E （資料部分） 對等級表粒徑之外的粒子之粒徑和計(jì)數(shù)的考慮 E1 通則 在某些情況下，特別是與具體工藝要求相連 的情況下，可以依據(jù)等級表粒徑范圍之外的粒子 群體規(guī)定另外適用的空氣潔凈度級別。 用戶和供 應(yīng)商應(yīng)就這類粒子的最大允許濃度和選擇驗(yàn)證 相符性的測試方法等問題達(dá)成協(xié)議。 在 E2（U 描述符）和 E 3（M 描述符）中給出了關(guān)于測 試方法和規(guī)定的技術(shù)要求形式的考慮。 E2 小于 0.1m 的粒子（超微粒子）的評價(jià) U 描述符 E21 應(yīng)用

35、如果要評定小于 0.1m 的粒子 造成的污染危險(xiǎn)， 應(yīng)采用適合于這類粒子具體特 性的采樣裝置和測量程序。應(yīng)該按照B4 1確定采樣點(diǎn)的數(shù)目， 最小采樣量 Vs 應(yīng)為 2L（ B. 4.2.2） E22 U 描述符的形式U 描述符的超微粒子濃度可以單獨(dú)應(yīng)用， 或 者是作為懸浮粒子潔凈度級別的補(bǔ)充來應(yīng)用。 U 描述符用“ U（x;y ）”的形式表示，其中， x超微粒子的最大允許濃度（以超微粒 子 pc/m3 空氣表示）；y以微米計(jì)的粒徑的，用適宜的離散粒 子計(jì)數(shù)器對這種粒子數(shù)計(jì)數(shù)時(shí)，計(jì)數(shù)效率為 5 0%。實(shí)例 如粒徑范圍為 0.1 m，最大允許超微粒 子的濃度為 140000 pc/m3，其標(biāo)識符為

36、“ U（ 1 40000；0.1m）”。注 1 在 IEST-G-CC10021 中給出了小于 0.1 m 的懸浮粒子濃度測試方法。注 2 如果用 U 描述符作為懸浮粒子潔凈度級別 的補(bǔ)充，超微粒子的濃度（ x）不得小于規(guī)定的 ISO 等級之 0.1m 被考慮粒徑適用的粒子濃度 限值（ pc/m3 ）。E3 大于 5m 的粒子（大粒子）的評價(jià)M 描述符E31 應(yīng)用如果要評定大于 5 m 的粒子造成的污染危 險(xiǎn)，應(yīng)采用適合于這類粒子具體特性的采樣裝置 和測量程序。懸浮粒子群體中的大粒子主要是在工藝環(huán) 境中釋放出的粒子。 應(yīng)該根據(jù)具體的應(yīng)用來確定 適用的采樣裝置和測量程序。 需要考慮的因素有 粒子

37、的密度、形狀、容積和空氣動力特性。還可 能需要特殊強(qiáng)調(diào)的在總懸浮粒子中的特殊成份， 如纖維。E32 M 描述符的形式M 描述符可以單獨(dú)應(yīng)用，或者是作為懸浮 粒子潔凈度級別的補(bǔ)充來應(yīng)用。 M 描述符用“ M （ a; b）; c”的形式表示，其中，a大粒子的最大允許濃度（以大粒子 pc /m3 空氣表示）；b當(dāng)量直徑 （或直徑），與規(guī)定的測量大 粒子的方法相關(guān)（以微米表示） ；c規(guī)定的測量方法注 1 如果采樣的懸浮粒子群體中含有纖維，則 可以向 M 描述符附加一個單獨(dú)的纖維用描述 符，表示形式為 M fiber （a; b; ）:c。例 1 如果使用測定粒子空氣動力直徑的浮游氣 溶膠粒子計(jì)數(shù)器，

38、粒徑范圍為 5m 的 懸浮粒子的濃度為 10000 pc/m3，則其標(biāo) 識符為“ M(10000;5 m)；浮游氣溶膠 粒子計(jì)數(shù)器”。例 2 如果使用多級沖擊取樣器，然后再用顯微 法測定粒徑并計(jì)數(shù)，粒徑范圍為 10-20 m 的懸浮粒子的濃度為 1000 pc/m3 ，則 其標(biāo)識符為“M(1000;10-20m)；多級沖 擊采樣器，然后再用顯微法測定粒徑并計(jì) 數(shù)”。注 2 在 IEST-G-CC10032 中給出了大于 5m 的懸浮粒子濃度的測試方法。注 3 如果用 M 描述符作為懸浮粒子潔凈度級 別的補(bǔ)充，大粒子的濃度 (a)不得大于規(guī)定 的 ISO 等級之 5 m 被考慮粒徑適用的粒 子嘗

39、試限值( pc/m3 )。附錄 F(資料)順序采樣法F1 背景和局限性F11 背景 若采樣的空氣之污染程度顯著大于或小于 被考慮粒徑的規(guī)定級別濃度， 采用順序采樣法通 ?？纱蠓葴p少采樣量和采樣時(shí)間。 當(dāng)嘗試接近 規(guī)定限值時(shí)，也可實(shí)現(xiàn)一定程度的節(jié)省采樣量和 時(shí)間。順序采樣法最適合于空氣潔凈度期望達(dá)到 ISO 4 級或更潔凈的環(huán)境。注 有關(guān)順序采樣法的進(jìn)一步資料， 見 IEST-G- CC 10043。F12 局限性(順序采樣法的主要局限性有： )a)此方法僅適用于被考慮粒徑的粒子在規(guī)定 等級或濃度限值時(shí)，每次測量到 20 顆粒子 的采樣。b)每次采樣測量要求輔助監(jiān)測和數(shù)據(jù)分析， 可以用計(jì)算機(jī)自

40、動進(jìn)行。式中，(F.2)EC 為為期觀望察計(jì)到數(shù)計(jì)數(shù)c)由于減少了采樣量，粒子濃度的確定不如 常規(guī)采樣法精確。F2 順序采樣法的依據(jù) 此方法基于實(shí)時(shí)累積粒子計(jì)數(shù)與參考計(jì)數(shù) 值的對比。參考數(shù)值由求上下限值的公式得出： 上限值：C=3.96+1.03E下限(F值.1：) C=-3.96+1.03E為了便于比較，在圖 F.1圖形的形式，表 F.1 以 表格的形式提供了參考值。兩種形式均可采用 表 F.1 對于時(shí)間應(yīng)達(dá)到 C 觀察到計(jì)數(shù)值時(shí)的上 下限值不合格 若觀察到計(jì)數(shù)值 C 早于 期望計(jì)數(shù)值出現(xiàn)合格 若觀察到計(jì)數(shù)值 C 遲于 期望計(jì)數(shù)值出現(xiàn)以小數(shù)表示的時(shí)間 t觀察到計(jì) 數(shù)值以沾上數(shù)表示的時(shí)間 t觀

41、察到計(jì) 數(shù)值0,001940,192200,050550,240710,099260,289320,147670,337830,196180,386440,244790,434950,2932100,483460,3417110,532070,3902120,580580,4388130,629190,4873140,6676100,5359150,7262110,5844160,7747120,6330170,8233130,6815180,8718140,7300190,9203150,7786200,9689161,0000211,000017注：以小數(shù)表示的時(shí)間是時(shí)間的百分率 （不等級 限值時(shí) t=1.000）在各指定的采樣點(diǎn)進(jìn)行空氣采樣時(shí)， 正